Page 47 - Vol.39

4
3

5
7
2
1
14
11

17
16

15
12
13
26
22
28
24
21
23

37
36
35
34
33
32

31
38

AMC source 25 6 27 8 18
Make-up air recirculation air
process, material
Fab exhaust atmosphere
leakage,spill outgassing
HCL,H SO ,HF, SO ,H S,O , 3 NMP,HMDS, Phthalates,B,P,
4
2
2
2
N O,VOCs NH ,NO ,BEXT PGME,PGMEA,IPA, NH ,Siloxanes
Acetone,Chlorine
3
X
3
2
可控制來源 外部來源
目標改善後趨近於零
圖1、AMC來源 [1]
3.5
3
2.5
2
1.5
1 冬季開始吹東北風時MAU進氣口放樣結果較高
0.5
放樣結果(五酸 ) ppm
0
108年01月 108年02月 108年03月 108年04月 108年05月 108年06月 108年07月 108年08月 108年09月 108年10月 108年11 月 108年12月
圖2、2019 MAU入風口IC放樣結果
(ppb) 煙囪排放量與MAU進氣口放樣關係圖
4.5

4 吹西南風時排放量和
放樣結果並不同trend
3.5

3

2.5

2
1.5

1
吹東北風時排放量和
0.5
放樣結果同trend
0
108年01月 108年02月 108年03月 108年04月 108年05月 108年06月 108年07月 108年08月 108年09月 108年10月 108年11 月 108年12月
煙囪排放量(以一月為基準計算百分比 ) 放樣結果(SO42-) 放樣結果(F-) 放樣結果(Cl-) 放樣結果(NO3-)

圖3、MAU進氣口放樣結果與煙囪排放量關係

41 42 43 44 FACILITY JOURNAL 09 2020 45 46 47 48