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1、ESC管路接頭目前使用Swagelok接頭且無O-ring，將改善為Swagelok搭配O-ring以降低洩漏率。 21 1 2 12 23 24
2、Flow meter管路接頭目前使用Swagelok接頭，將改善為VCR接頭以降低洩漏率。
3、Dual switch valve在FX高低溫切換時易洩漏，解法為導管接Exhaust(Dual Chiller)。
4、接水盤目前使用快速接頭，將改善為VCR接頭以降低洩漏率。
5、Chiller外部快速接頭部分其O-ring受高溫易老化造成洩漏，改善方法為球閥+VCR接頭+抗高溫的O-ring。
6、Chiller內部Swagelok接頭在150ﾟC時易洩漏，故需更換為NPT接頭。
7、Chiller coolant將加裝液位sensor可偵測Coolant是否有洩漏。
8、排氣孔部分假如內部有漏會造成out gassing，故需加裝Cover+Exhaust。
圖3、主機&Chiller示意圖
機台點位 示意圖 Improve
ESC 1、Add O-ring(@Swagelok)
2、With N2 purge
Flow meter & 1、Swagelok→VCR
Dual switch valve 2、導管接Exhaust(Dual Chiller)
接水盤 快接→VCR
FACILITY JOURNAL 09 2020 41 42 43 44
