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                                                                                                   技術專文
                   機台點位         示意圖                                       Improve
                   Chiller外部接頭                                            快接→VCR
                   Chiller內部接頭                                            Swagelok→NPT
                   Chiller coolant                                        加裝液位sensor
                   排氣孔                                                    加裝Cover+Exhaust












                                                   圖4、CXF漏源改善方案


           4.  結果與分析                                         知，VCR接頭之洩漏率遠低於Swagelok接頭。接著檢視
                                                             Chiller的P&ID圖，如 圖6所示，可知廠內Chiller使用
               為了降低蝕刻區環境內CXF濃度，廠務工程師除了指
                                                             Coolant的範圍中，使用Swagelok接頭共有18處，全面將
           導設備PM防護觀念並與CHAD合作新增inline採樣點(20→
                                                             該接頭更改為VCR接頭。
           28點)，以及宣導設備工程師實施每日自主性巡檢，以預防
           趨勢增長時及早做對應措施，統計實施前後CXF alarm
           case月平均次數，如 表1，由 表1可知CXF alarm case平
           均次數從3次/月減少至1次/月。


                     表1、CXF alarm case統計(by month)
            單位 : 次/月        實施前            實施後
            CXF alarm case  3              1

               除了設備PM防護的加強以外，源頭的減量才是關鍵，

           本研究針對主要洩漏來自管路接頭來做分析，如 圖5為廠
           商測試Swagelok及VCR接頭洩漏率之比較，由測試結果可











                     圖5、Swagelok & VCR接頭洩漏率比較                              圖6、ATS Chiller P&ID圖

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