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TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED
VOL.39
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
AMC污染應變對策及復原程序
Response Methodology of AMC Contamination and Recovery Procedure
文│江維捷│南科廠務1廠務一部│
關鍵詞 / Keywords 摘要
氣態分子汙染物 / AMC 目前TSMC緊急應變內控作業流程，有針對異味、氣體、化學品洩漏訂立一
緊急應變 / Emergency Response 套處理流程。然而針對氣體、化學品洩漏處理流程，皆是朝硬體設備的復原方向
濾網 / Filter 進行，對於洩漏所產生的AMC汙染並沒有說明該如何緊急應變。因此想藉由此次
探討，建立起一套無塵室AMC污染應變對策及復原程序，目的是要減少，限制影
響的程度，為公司及員工營造安全的工作環境。期盼此份資料能在面對AMC污染
時，可以快速的復原無塵室環境AMC讀值，降低對製程生產的影響。
1. 前言
在半導體製程中，H2SO4、HF、NH3、IPA、Acetone等化學物質被大量使用。不論是廠務化學品和特殊氣體一次配
的供應系統，或是供應至機台端的二次配管路，一但有洩漏的情況發生，進入無塵室的空氣流場中就很容易的被擴散開來
，對無塵室環境AMC讀值造成很大的傷害，可能會造成設備損壞、產能中斷，嚴重時更可能造成人員受傷，所影響的層
面會很劇烈。AMC污染發生時，最有效降低污染的方法便是採取應變處理措施，若能於污染發生即時採取正確適當之應
變措施，抑制或侷限洩漏範圍及規模，就能避免污染擴大。
本文會利用現場管理提到的人(Human)、機(Machine)、料(Material)、法(Method)、環(Environments)等五大要素，
並參考緊急應變與化學品洩漏救災相關文獻來建立AMC污染應變對策及復原程序，配合TSMC現有的氣體、化學品洩漏緊
急應變內控作業流程，使洩漏發生後現場的硬體與環境AMC汙染都可以快速復原。
2. 文獻探討
本文探討重點為AMC污染應變對策及復原程序，故向既有的化學災害救災系統與緊急應變指引借鏡，並參考TSMC現
有的氣體、化學品洩漏緊急應變內控作業流程，整合一套專屬於AMC污染現場處理及復原的標準流程，文獻探討如下。
行政院勞工安全委員會勞工安全衛生研究所於永續經營與緊急應變決策支援現場演練研究報告中有提到，災害發生時
，訓練相關人員進行緊急應變演練與教育訓練是一重要環節。目前尚無完整AMC污染應變對策及復原程序，有鑑於此，
江維捷 Wei Jie Chiang
成功大學機械工程所畢業，加入F14A P12運轉團隊，感謝部門主管及季刊主編
給予寶貴意見，使本次季刊內容能更順利完成，並期許自己在往後的日子於各
專業領域持續成長，為公司貢獻一己之力。
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