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氣體外洩



                                                                              否      現場人員發現
                                                              氣體偵測器作動
                                                                                     如異味或白色煙霧
                                                                    是
                                  黃燈警報通知該區設備         否
                                  及廠務工程師                        紅燈警報
                                                                    是
                                                     是
                                    是否要進行疏散                  人員疏散至指定地點                通知ERC報告狀況
                                          否
                                      解決問題                     確定氣源關閉



                                      狀況解除                  ERC廣播ERT人員集合



                                                           確認啟動Calamity System


                                                            指揮官到達ERC成立ERT




                        ERC            保全組             廠務組              救災組             疏散組             急救組


                     通知現場人員       廠外交通    廠內門禁                       成立氣體洩漏          引導廠內人員至
                     確認現場狀況         指揮      管制      切斷氣/化學品供應           救災組           指定地點集合           救護傷患


                   監控系統讀值,提供
                   HAZMAT Card、       管制小組             除污小組            處理小組            搜救小組            支援小組
                   MSDS等供諮詢,準
                   備Portable Detector
                   、PPE支援
                                                     協助處理小組/                         確認有無傷患及          準備PPE/SCBA
                                    管制人員進出現場                          調查洩漏狀況
                                                     搜救小組除污                           其他事件發生          手提式偵測器
                  通知Corporate-ESH/
                    環保局/廠內主管                                        確定氣體洩漏源及
                                                       清理災區                                           協助處理小組
                                                                      上游已關閉

                                                                                                       必要時提供
                                                                 是
                                                    將鋼瓶置於ERCV         是否為鋼瓶                            額外之支援

                                                                           否

                                                     增加房間換氣量          關閉鋼瓶閥


                                狀況解除                 GMS讀值降至0


                                                       圖2、TSMC氣體洩漏處理流程








 51  52  53  54                                                                            FACILITY JOURNAL          09  2020  55         56                                                                                                                                                                                                                                 57                         58












































































































 61  62  63  64                                                                                                65                         66                                                                                                                                                                                                                                 67                         68













































































































 71  72  73  74                                                                                                75                         76                                                                                                                                                                                                                                 77                         78












































































































 81  82  83  84                                                                                                85                         86                                                                                                                                                                                                                                 87                         88












































































































 91  92  93  94                                                                                                95                         96                                                                                                                                                                                                                                 97                         98
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