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3. 研究方法
目前TSMC緊急應變內控作業流程中的氣體/化學品洩漏處理流程針對衍生出AMC污染的問題，在廠務系統是以開啟
calamity風車的方式排氣，現場的除污小組則是沒有提到清潔的手法，處理小組污染抑制的部分也只針對氣體與化學品的
洩漏源並沒有提到AMC，此應變流程對於小範圍的化學品洩漏可以獲得妥善的處理，但面臨到大面積的洩漏會遭遇到幾
個問題。第一 : 大面積的氣體/化學品洩漏所造成的AMC污染，因除污的時間久，AMC所影響的時間長，此時如果沒有調
整暖區製程區的無塵室壓力與隔絕可能污染的氣流路徑，這樣的情況下即便開啟calamity，還是會影響鄰近暖區製程區的
AMC。第二 : 因大量洩漏化學品而導致污染物可能會在設備下方、牆板縫隙等不易清理的地方，因除汙小組應變流程中未
提到相關的清潔手法，實務上遇到會因此拉長清潔時間，增加無塵室AMC污染的風險。第三 : 如無塵室AMC已遭受明顯
的污染，除了流程中開啟的calamity外，還能在濾網牆、FFU安裝濾網，並加大MAU補氣量來減緩污染，使無塵室AMC恢
復正常。第四 : 處理小組處理流程只提到遭受化學品污染硬體的復原，但受到AMC污染的硬體，像是廠務端FFU/濾網牆與
製程機台端的濾網並沒有提到要做後續的檢查及更換，而這部份則可能會導致濾網本身析出AMC污染物進而影響生產。
綜合以上四點，將AMC污染應變對策及復原程序(如 圖4)制定如下 :
3.1. 人員任務編組
• 除汙組 : 現場進行氣體/化學品污染源頭判定及排除、清理。
• 處理組 : 現場進行AMC汙染隔絕/圍堵。
• 支援組 : 現場器材、off-line AMC/TOC量測儀器架設與量測、設備濾網更換、安裝。
• 管制組 : 設立冷暖熱區管制人員進出。
• 值班組 : 於值班室統整 in-line與off-line AMC/TOC量測讀值，視情況進行補氣循環系統調整，掌握復原情況。
3.2. 訂定救災器材
• 污染應變 : FAN CART、AMC濾網、PVC curtain、吸酸棉、DIW、CV軟管、個人防護具、珍珠板、Air Gun。
• AMC量測儀器 : PID、MITAP、API、PICARRO。
3.3. 擬定應變類型與範圍
• MAU : 補氣量是否需要加大、製程區壓力是否要調整。
• Calamity : 是否要開啟。
• 濾網牆 : 是否要安裝濾網。
• FFU : 換氣量是否需要加大，或安裝AMC濾網。
3.4. 善後處理
• 清除 : 佩戴適當的個人防護具清除洩漏物、將受污染之物質放入對應的四色垃圾桶。
• 監控 : in-line與off-line AMC量測讀值統整，確認降回baseline後狀況解除。
• 復原 : 確認濾網牆、FFU、機台濾網是否需要更換。
4. 結果與分析
2013/02/18 09:42 F14A P3 2F DIF CDI-D Bay發生IPA洩漏事件，洩漏面積約為50平方公尺，事件發生15分鐘後緊急
成立ERT進行洩漏污染源排除，1小時後開啟Calamity進行排氣。但因污染源隔離不足，污染源擴散至暖區，故3小時後安
裝污染區FFU濾網，最後於2/19 00:45 環境TOC回至baseline，現場污染也全數排除。
2019/07/01 17:15 F10 CVD區因廠商施工管路拆除錯誤，造成TEPO洩漏，雖立即成立ERT進行洩漏污染源排除，但因
污染源隔離不足，污染源擴散至暖區，且潔淨室FFU無外加濾網過濾，使得環境磷離子baseline至7/5 11:00才全數恢復，
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