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Tech
Notes
技術專文
AMC汙染
管制組 值班組 除污組 處理組 支援組
設立管制站 判讀與統整AMC讀值 污染源頭判定與排除 隔絕與圍堵AMC污染源 現場AMC量測儀器架設
確認是否開啟 污染範圍清理 隔絕與圍堵熱區 確認是否進行濾網牆
Calamity AMC污染路 與FFU濾網安裝/更換
確認是否調整MAU 現場AMC量測至
補氣量與製程區壓力 回復baseline
判斷是否於濾網牆/ 確認機台與FFU/濾網牆
FFU濾網安裝或更換 濾網是否需要更換
確認in/off-line AMC
讀值回復至baseline
狀況解除
圖4、AMC污染應變對策及復原程序
也因此影響生產線造成損失。
過去在現場通報有氣體/化學品洩漏的狀況發生時，處理單位直接就按照TSMC緊急應變流程處理，在抑制及侷限氣體
/化學品污染源頭就可以很快速地完成。上述兩件事故化學品洩漏範圍都很大，雖然污染源頭很快就關斷與抑制，但後者
復原時間卻花了快四天才將AMC控制回baseline，且兩件事故都有影響到鄰近區域的AMC讀值，最主要的原因就如同上一
段文章內容所提，廠內氣體/化學品洩漏造成的AMC污染於TSMC應變流程中並未完善說明。無塵室潔淨空氣循環除了被
Exhaust抽走之外，剩餘的空氣會與補氣混和後再供入無塵室3F，故AMC污染的情況嚴重，且沒有在短時間排除污染源，
那麼受污染的空氣就會不斷地進入混和補氣過程，使供入現場空氣的AMC baseline比原本高，污染既有的環境。再者各
製程區彼此不見得有隔間隔開，壓力也不相同，如洩漏區的壓力大於鄰近製程區，會使受污染的空氣因壓力梯度的關係流
向鄰近製程區進而影響AMC baseline。P3 IPA洩漏在進行污染善後處理的部分，視力可及與一般清潔工具可處理的範圍都
清潔的很完善，但有些肉眼無法察覺或是礙於空間工具無法清潔的地方，清潔過程中容易被忽略或是窒礙難行，這些細節
也會影響了後續AMC讀值恢復的速度，如 表1所示。
表1、事故原因分析表
事件 人 機 料 法 環
F14AP3 IPA洩漏 √ √ √ 1.IPA清潔耗時長 √
2.AMC汙染未隔離
F10 TEPO洩漏 √ √ 1.未準備AMC濾網 1.AMC汙染未隔離 √
2.無AMC汙染降低措施
以上兩件事故所遭遇到的盲點，在此文提到的AMC污染應變對策及復原程序皆可獲得完善的解決方法。根據程序在
現場通報有氣體/化學品洩漏的狀況發生時，管制組設立冷熱區管制人員進出，避免人員有受傷的風險。除污組進行污染
源頭判定(外氣、Tool、化學品供應系統、工程施工等)及排除與清理，因現場洩漏物為化學品，除污組與處理組需先至
ERC領取半面罩式防毒面具、濾毒罐、防化手套、D級防護衣並著裝進行洩漏化學品清理，清理過程中肉眼可看與手工具
可觸及之處，以無塵布沾溼DI水進行擦拭。無法擦拭之縫隙，像是溝槽，管夾等地方，則以Air Gun+CV加強清潔。處理
組進行AMC污染的隔離與圍堵，現場洩漏處用移動式PVC curtain將其圍住，並架設FAN cart，如 圖5，以相對應AMC濾
網過濾排氣，循環過濾現場受污染之空氣，並利用CV port架設軟管，如 圖6，拉至污染處抽氣加速污染空氣排除。
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