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Tech
Notes
技術專文
值班組則進行AMC in-line讀值監控判斷各個製程區AMC的狀況是否要開啟Calamity，或是降低熱區的無塵室壓力，
使熱區為相對負壓，如 圖13。
FMCS系統 Mech排煙系統 Mech空調系統
Leak Event 手動啟動
IC指揮官 SOP
下令排煙開啟
Check該區或 Calamity 否 確認環境AMC 否 相鄰區溫濕度壓力
其他區溫溼度 風車啟動 濃度是否正常? 及AMC Status追蹤
(TT/MT/壓力)
與副理確認 是
全廠廣播該區 該CAL區下 否 是 追蹤除汙進度手動
溫溼度異常 排煙風門打開 降載該汙染區MA
是
環境AMC回復正常
統計並持續 通知設備確認機台
回報Impact狀況
內部AMC狀況
Calamity風車 否
停止/風門關閉
手動停止
是 SOP
該區或其他區環境
(TT/MT/壓力/AMC) 回覆廠務主管(值班) 通知指揮官(IC) Close
副理、部經理
Calamity風車已停止
正常
圖13、Calamity flow diagram
此時如果發現AMC off-line量測讀值或是in-line量測讀值還是無法快速降回baseline，則可以從補氣循環路徑，如 圖
14設防線加速AMC讀值降低。
1、可以加大該區MAU的補氣量，用乾淨空氣稀釋受污染的環境空氣。
2、如有濾網牆的設計，可安裝AMC濾網過濾受污染的環境空氣。
3、加大FFU轉速，提高無塵室空氣的置換率，或安裝AMC濾網過濾受污染的空氣。
圖14、無塵室補氣循環路徑
51 52 53 54 55 56 57 58 59 60
61 62 63 64 65 66 67 68 69 70
71 72 73 74 75 76 77 78 79 80
81 82 83 84 85 86 87 88 89 90
91 92 93 94 95 96 97 98 99 100
