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Calculated Filtration times by REM 26
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Wet particle bad Wet particle good
8
6
4 Drum daily usage (drum/day)
2
0
FAB A Chem. Y filtration times. (by REM) FAB A Chem. Y daily drum usage.
FAB B Chem. Y filtration times. (by REM) FAB B Chem. Y daily drum usage.
圖5、廠區A及B使用之化學品Y，每日Drum桶用量與REM計算之過濾次數關係圖
FAB A 1/1 12:00 ~ 1/3 12:00
Calculated Filtration Times by DCM 1/2 Tool chem. Request Time (sec.)
FAB B 1/8 12:00 ~ 1/10 12:00
Calculated Filtration Times by DCM 1/9 Tool chem. Request Time (sec.)
Calculated Filtration Times by DCM Tool Chem. Request Time
圖6、廠區A與B使用之化學品Y，每小時總要酸秒數與DCM計算之過濾次數關係圖
5. 結論
4.2 DCM 應用實例
本研究提出了概略型估算模式(Rough Estimation 間內化學品總需求秒數作為計算基礎，因計算頻率高，適
為了能合理解釋化學品Y供應品質在廠區A與B的差異，本研究導入了DCM計算模式，針對用量同樣均為每日6桶的兩
Mode, REM)及動態型精算模式(Dynamic Calculation 用於時序密度需求較高的線上Defect比對。實際應用的結
天，分別為1/2的廠區A以及1/9的廠區B，進行每小時過濾次數的計算，結果如 圖6所示。由結果可看出，1/2的廠區A，機
Mode, DCM)兩種新型的計算模式，針對桶裝化學品供應 果顯示，REM確實可用於某些化學品在跨廠區大方向上概
台化學品需求時間間隔較不平均，密集集中於1/2中午過後，使得化學品的循環過濾次數逐漸被拉低，並於21:00過後低於
系統(Drum Unit, DU)的循環過濾次數進行計算。REM以每 略的比對，但若需評估短時間內化學品需求頻率對於供應
10次以下，也因此影響了其供應品質。反觀廠區B於1/9的狀況，雖然化學品的過濾次數偶有因單一小時機台化學品需求秒
日桶裝化學品的使用量作為計算基礎，可用於跨廠區相同 品質的影響，還是需透過DCM的計算結果，才可提供較為
數較長，導致過濾次數偏低，但因為需求間隔較為平均，所以整體過濾次數還是可以慢慢拉回恢復到15次以上。此結果也
系統的循環過濾次數概略性比對 ; 而DCM則是使用固定時 合理的說明。此外，本研究也透過DCM的模擬，提供線上
可看出機台端化學品需求時間間隔長短對於循環過濾次數的重要性。
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機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能
恢復至正常水位後再執行下一次的保養。
目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
各種DU化學品的循環過濾次數計算。
參考文獻
[1] 曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。
[2] 徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統
及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。
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