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Tech 55 56
Notes
技術專文
5. 結論
因CR168原液本身界面活性劑特性關係，在混酸落料添
加時，因瞬間高濃度導致活性劑分子間的吸引力而聚集形成
膠羽殘留於稀釋桶桶壁及桶底管路塞管，造成循環過濾濾芯
負載及洗桶效能不佳，本文以實驗設計方式驗證膠羽成因，
改變既定混酸稀釋流程並將落料參數最適化，透過CR168原
液批次添加及其原液落料前先循環NH OH 75ppm方式有效
4
避免混酸溶液瞬間界面活性劑高濃度影響，實際運用於混酸
系統後成功避免膠羽並以回歸反射型光纖感測器偵測機制即
時監控，提升供應品質解決黃光製程缺陷問題(PO2 : 3.6ea,
BSL : 4.8ea)。未來，期許在無膠羽的混酸環境下，能降低稀
釋桶循環濾芯負載同時也降低混酸循環過濾時間(5.5hrs÷
3hrs)，提高系統混酸產能(~28%提升)並節省龐大的濾芯更換
成本。
參考文獻
[1] 界面活性劑的基礎及應用(VOL.19 No1紙漿技術，2015)–蘇裕昌。
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機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能
恢復至正常水位後再執行下一次的保養。
目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
各種DU化學品的循環過濾次數計算。
參考文獻
[1] 曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。
[2] 徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統
及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。
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