Page 73 - Vol.40

51

53

62
64

機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能 61 52 63 54
恢復至正常水位後再執行下一次的保養。
目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
各種DU化學品的循環過濾次數計算。
參考文獻
[1] 曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。
[2] 徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統
及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。

FACILITY JOURNAL 1 2 2 0 2 0 71 72 73 74

5. 結論 15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化
學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目
經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學
前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學
品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，
裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望
智慧結晶。整理如下：
有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功
① 系統安裝： 於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解
• 與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。
期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未
• DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流
• 對照式sensor安裝 系統。
• 帶狀式leak sensor

• manual port自動門安裝 參考文獻

② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問 [1] 呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園
。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
題，及早調整。 gTm.htm
[2] 自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。 ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。
[3] 智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES
• 運轉資訊不足 : 建立運轉KPI 企劃2013。
• 定位sensor調整÷提早於試車階段驗證

• 定位sensor誤作動÷增加集光罩

• DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪
• 棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時

• ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報
，提醒管理者已進入半自動操作

81 82 83 84

91 92 93 94