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試車的目的除檢驗各處理單元設備操作是否正常外，最 ④ Tier-2：執行系統整體功能測試
主要在於尋求最佳的操作及控制參數，使各處理單元發揮最
• Global Functional Test, Logic and Sequence Test
大功效達到最佳處理效果，並做為日後操作維護運轉的參考
and Site Acceptance Test.
依據。
• System Running in Auto Mode
• SPC & AMC on-line
2. 文獻探討
⑤ Tier-3：廠務系統移交予運轉單位
2.1 試俥(Commissioning)
• SPC Quality Match in OOS for tool move in
• Build up OI, PMOI, SOP, and OCAP etc.
到底試俥該如何執行?該包含哪些階段以及該如何來區分
• Training of Facility
呢?參照設備機台裝機流程定義出廠務系統五階段(5-Tier)試俥
管理(如 圖1)。
2.2 試俥流程(Commissioning Flow)
搭配系統五階段(5-Tier)試俥管理，我們在各階段該做甚麼
呢?經集思廣益與多方討論後訂出六大主軸為試俥執行之依據。

① 管理責任
② 試俥計畫書
③ 完工及試俥前檢點
④ Pre-試俥檢點
⑤ 系統試俥/驗證節點確認
圖1、五階段(5-Tier)試俥管理
⑥ 系統試俥運轉
在從中經抽絲剝繭後，定義出各項執行時需涵蓋項目及
細分如下：
內容(如 表1)，以供執行試俥相關人員有所本且按部就班的執
① Pre-commissioning : 試俥前準備 行試俥任務，能順利及完整的完成系統試俥。

• Organize Project Team
• Documentation Requisition as RFP & submittal of 3. 研究方法
commission plan
3.1 系統試俥流程
• Define Test Standards, Criteria & Checklist
• Develop WBS of each system 結合系統五階段(5-Tier)試俥管理及試俥執行六大主軸，
[3]
② Tier-0 : 執行並完成系統內所有材料及單機、設備之機械安 我們發展出了系統試俥標準流程圖(如 圖2) ；流程圖中請
裝檢驗，並且完成介面間及水、電、氣體等銜接之檢驗 清楚的描述各階段應執行那些事項及該準備哪些資料與表單，
於執行完成後應有那些紀錄與產出。此標準流程圖可供所有
• Verification of Utilities Connection and Specification
系統運用，並讓參與試俥人員能先行檢視試俥前/中/後該做
for the Equipment
的事及該準備&產出的紀錄。
• Verification of Equipment Manufacturer΄s Submittals
• Verification Equipment΄s FAT(Factory Acceptance 3.2 系統試俥WBS(Work Breakdown Structure) [4][5]
Test)Reports
• Completion SL1 Sign-off 有了系統試俥標準流程圖後，承攬商依系統特性發展出
系統試俥WBS(含試俥計畫書)，並以試俥執行六大主軸於「建
③ Tier-1 : 送電予系統及所屬之各項單機設備，執行並完成
廠管理平台」(Project Construction Platform, PCM) [6][7] 進行
各項單機功能測試及單機之功能檢查核對表
文件送審，以進行試俥執行審核與資料留存，系統試俥WBS
• Motor Test, Loop Test, Functional Test, Operational 架構 。(如 圖3)
[8]
Parameters Setting, Logic Check and Sequence 由F18P3開始導入，建廠試俥共區分為49個子系統，以WBS
Test, etc. 架構拆解共1,225項測試報告與審核項目及3,426個試俥執行過程
• Controls Software(SCADA)Installation and Programming 相關檔案留存(含硬體、系統功能測試、SOP等)。(如 表2)
• Completion of SL2 Sign-off and Ready for HPM Supply

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