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Tech
Notes
技術專文
表1、系統試俥WBS項目及說明
5 試車 檢附內容指引
5.1 管理責任 (試車組織/工作職掌/人員履歷) 檢附試車人員組織圖(if need含主設備供應商人員)，職掌&簡歷
5.2 試車計畫書
5.2.1 試車流程圖 以整個系統為本，提供完整試車流程圖 ; 若有子系統試車流程圖亦可放入
5.2.2 試車執行計畫 涵蓋完整系統，說明試車執行程序/手法，須包含相關的SOP/Checklist/紀錄表(Sample等相關資料)
→也就是說，以完整的P&ID來看，此份試車計畫須包含整套系統，不可以有缺漏的部分
5.2.3 試車時程表 提供整套系統的試俥時程安排
5.3 試車前檢點表
5.3.1 設備/元件清單 系統設備&主要控制元件清單，內容須包含品名/廠牌/型號/規格/安裝數量/安裝區域
5.3.2 設備/元件出廠報告 檢附上述5.3.1內相關物件的出廠資料，若item-3材料檢驗項目已提供，在此可以省略，
但必須檢查已提供物件是否完全包含5.3.1各項，若有缺漏仍須補齊
5.3.3 Utility需求清單 建表提供系統所需Utility，內容須包含 種類/規格/需求系統或區域/需求點數(含預留點數)
5.3.4 系統安裝檢點表 Base on系統P&ID&5.3.1項目，檢查系統安裝及管路配置狀況&區域建置完整度(Life Safety check)
5.3.5 自主檢點表(Utility) Base on系統P&ID&5.3.3項目，檢查Utility管路配置狀況(By Sub-system/Area/Room等均可)，
以清楚掌控Utility安裝狀況為原則
5.4 Pre-試車檢點
5.4.1 完整版P&ID 提供與現場相符版本之相關資料，須包含系統P&ID/PFD圖，電力配置圖(表)，控制/訊號架構圖及系統Layout圖等
5.4.2 Utility管路測試紀錄 需包含5.3.3內屬於系統建置時有施作的部分
5.4.3 Process管路測試紀錄 Base on P&ID，提供系統配管測試資料，不論切成幾部分，需涵蓋整套系統的配管
5.4.4 I/O Mapping表 提供與現場相符的I/O配置表(D/I&D/O部分請註明是NO或NC)
5.4.5 自主檢點表(Process) Base on P&ID及5.3.3utility需求，檢查管路銜接/turn-on之Utility等是否正常之檢點紀錄
5.5 系統試車/驗證節點確認
5.5.1 訊號點對點測試紀錄 Base-on 5.4.4，提供相關訊號之點對點紀錄資料
5.5.2 設備/元件功能測試紀錄 Base-on 5.3.1，提供相關設備/元件等單元測試或開機檢查紀錄資料
5.5.3 系統功能&Alarm測試紀錄 提供系統連動&系統alarm測試紀錄資料 ; 若紀錄表內有需確認數值的部分，則需將相關讀值填入
5.5.4 運轉前檢點表 提供持續運轉前需檢點的資料，包含閥件開/關，utility供應，排水/排氣，相關功能/警報是否開啟，
Safety需求是否滿足，緊急應變器材/措施/訓練是否完整，相關標示&管制是否完整等
5.6 系統試車運轉
5.6.1 系統測試紀錄表 包含Sub-system&完整系統運轉時測試的紀錄資料
5.6.2 系統參數設定表 Base on 完整P&ID，提供系統所含的所有參數資料，不論是有數值或僅enable/disable部分均須包含在內
5.6.3 系統運轉檢點紀錄 Base on 完整P&ID，提供系統運轉後，確認系統是否正常運轉的檢查紀錄
5.6.4 允收紀錄 若供應系統有卡供應品質或處理效率&有on-line meter監控需求者，需提供允收紀錄
● 5-Tier 試車管理 To start checking of mechanical
Construction Completed Pre-commissioning Commissioning Tier-0 Commissioning Tier-1 Commissioning Tier-2 Commissioning Tier-3
Power up for each of equipment
installation for each of
and to the whole system, and to
perform functional test.
☉系統試俥標準流程圖
N N N
(Output)
.系統 系統設備 Y Utility Y Process Y 子系統/元件 系統試俥 系統正式 系統試俥手
試俥Start 安裝點檢 安裝點檢 安裝點檢 個別測試 節點驗證確認 運轉 冊資料彙整
★系統試俥執行開始 ★系統設備安裝完整度確認 ★Utility施作完整度確認 ★配管施作完整度確認 B Form(軟體)比對
□ Kick-off A Form(硬體)比對 □ Water (by Area 或 by隔離閥) □ 訊號點對點測試 □ 元件/單元連動測試 □ on-line sensor監控
□ 作動功能測試
(in Spec/OOS/OOC/1-Sigma)
□ R&R賦予 □ 系統主設備 □ Power □ Process line管路確認 (ex:閥件/Pump) □ 子系統運轉測試 □ off-line量測資料紀錄
□ 試俥流程說明 □ Process line主要控制元件 □ Gas / Exhaust □ 訊號接點確認 □ Safety完整度確認 □ 完整系統運轉測試 □ 運轉人員訓練
□ Signal
□ Utility施作管路測試
□ 試俥時程準備 □ 運轉需要附屬設備 □ Dosing Chemical □ Process施作管路測試 □ 運轉參數/設定紀錄
資料需求/完成紀錄
1 會議通知/紀錄 1 主設備/控制元件清單 1 Utility需求清單 1 系統P&ID vs 現場安裝/配管比對1 訊號點對點測試 1 測試相關表單(空白) 1 上線運轉Scope
2 角色及任務分配 2 出廠測試資料 2 Utility安裝/配管查檢表 2 Utility管路測試紀錄 2 閥件/Pump...功能測試 2 測試/檢查紀錄資料 2 正式/完整運轉Scope
(營建/品質/廠務) 3 設備/元件安裝檢點表 3 盤面/設備/管路/閥件 3 Process管路測試紀錄 3 系統Alarm功能測試 3 系統參數表(Mother Fab) 3 on-line/off-line品質項目紀錄資料
3 系統試車流程圖 4 設備/元件比較表 標示,管夾&掛牌檢查(紀錄) 4 訊號接線及點位確認紀錄 4 GMS/O2 Sensor/Leak Sensor 4 系統運轉/測試紀錄表 4 系統運轉/維修操作手冊
4 系統試俥Schedule Plan (vs. Mother Fab) 4 設備固定&管架檢查(紀錄) 上線確認 5 系統運轉/測試參數紀錄表 5 訓練Schedule Plna/紀錄
(detail時程表) 5 Drain/Vent line管路及閥件檢查 6 品質提升需求相關安裝&補充
(需檢查至最下游連結點) 原物料紀錄
廠驗收測試(FAT)、現場驗收測試(SAT)和現場綜合測試(SIT) 6 FMCS SCADA畫面及數值檢查
相關表單 ★ Meeting Notice/Minutes ● 設備/元件清單 ● Utility需求清單 ● 完整版P&ID(與現場相符版本) ● 訊號點對點測試紀錄 ● 系統測試紀錄表 ● 允收紀錄
★ (tsmc)試俥組織表 [含廠牌/型號/規格明細] [含種類&操作需求] ● Utility管路測試紀錄 ● 設備/元件功能測試紀錄 ● 系統參數設定表 ● 系統操作/維修手冊
● (承商)試俥計畫書 [檢附差異比較vs前一廠] ● 自主檢點表(Utility篇) ● Process管路測試紀錄 ● Alarm功能測試紀錄 [含Mother FAB設定值] ● 系統訓練資料
[含試俥計畫書/組織表/時程表] ● 系統安裝檢點表 ● I/O Mapping表(與現場相符) ● 自主檢點表(4~6項) ● 系統運轉檢點紀錄 ● 系統備品清單
● 系統試俥流程圖 ● 設備/元件出廠報告 ● 自主檢點表(Process篇)
● 此標示部分之資料可建立至PCM品質文件之WBS內
圖2、系統試俥標準流程圖
51 52 53 54
61 62 63 64
71 72 73 74
81 82 83 84
91 92 93 94
