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2.4.1 內襯用板材的功能性評價 表5、內襯用板材的功能性評價
評價：(優)5·4·3·2·1(劣)
表5是華爾卡使用的內襯用板材的5項功能性分5檔進行 材質 表面平滑性 黏合性 銲接性 耐滲透性 價格 總和評價
PTFE-ET 3 3 3 4 5 18
的自評結果。
M-PTFE-ET 4 3 4 5 4 20
評價板材的種類 PTFE-GB 3 3 3 2 3 14
M-PTFE-GB 4 3 4 4 2 17
PTFE-ET : PTFE化學蝕刻板 PTFE-GB 5 3 5 3 2 18
PFA(HP-Plus)-GB 5 3 5 4 1 18
M-PTFE-ET : 改性(Modified)PTFE化學蝕刻板(PLP板) 備註1 ET : Etched sheet、GB : Glass Backing、M : Modified的縮寫。
備註2 數值用於表示優劣，分5檔進行評價。
M-PTFE-GB : 改性(Modified)PTFE玻璃背板
PTFE-GB : PTFE玻璃背板
PFA(NEW)-GB : PFA玻璃背板
PFA(HP-PLUS)-GB : PFA玻璃背板
評價內容
表面平滑性 : 表示清洗時污漬去除性能的優劣。
黏合性能 : 表示板材與黏合劑的黏合強度的優劣。
銲接性能 : 表示板材連接部的銲接可靠性。
圖2、3種不同材質的內襯用板材
耐透過性 : 表示對化學藥劑的耐透過性。
該性能受到對化學藥劑透過的壽命的影響。
價格 : 表示板材成本的優劣。
① 表面平滑性
圖2為3種不同材質內襯用板材表面照片及表面粗糙度。
PTFE : 表面粗糙度最差。
M-PTFE : 表面粗糙度略好於PTFE。
NEW PFA : 表面最平滑。
圖3、內襯板材鍵結強度
本測量是對板材階段的材料進行，前述的內襯施工方法
不同導致的內襯後表面粗糙度Ra會發生較大變化。
④ 耐透過性
② 黏合性能
化學藥劑的透過主要發生在樹脂內部的非結晶部。圖4為
氟素樹脂為非黏著性，即使在氟素樹脂板材上塗抹黏合
對氟素樹脂板的厚度截面的結晶結構的模型化表現。
劑，也會剝落而無法黏合。為了使氟素樹脂板具備黏合性，蝕
刻處理板材會在板材製造後進行化學蝕刻以賦予黏合性。另一
方面，作為賦予黏合性的方法，玻璃背板則是使PFA熔融並進
入到氟素樹脂板與玻璃布板之間，從而實現錨固的產品。在貼
附性能上各種板材無明顯差異(如 圖3)。
2.4 氟素樹脂板材內襯材料的選擇 ③ 銲接性能
台積目前於高純度化學品使用的氟素樹脂內襯用板材的材 在常用溫度範圍內，所有板材的銲接強度未發現明顯差
質為PTFE-ET(對氟素樹脂表面進行化學處理的化學蝕刻板)。以 異。但是，與銲條、銲帶材質相同的PFA板材理論上在銲接時
下將針對PTFE-ET與其他氟素樹脂板材作比較分析。 的融合性較好，因此可以認為其銲接的穩定性較高。
根據氟素樹脂的材質(分子結構)進行推測，銲接的穩定性
為PFA>M-PTFE>PTFE。 圖4、氟素樹脂結晶與藥液滲透示意圖
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