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TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED 67 58 69 60
VOL.41
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
金屬銲接進化論之銲接品質提升
Metal Welding Evolution–Welding Quality Improvement
文│謝大為 譚偉華 │ 新廠工程管理部 欣亞品管科技│
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關鍵詞 / Keywords 摘要
銲接 / Welding 金屬銲接在半導體產業，主要應用於四大主系統，包含氣體供應系統(Gas supply system)，
氬銲 / Argon Welding 化學供應系統(Chemical supply system)，水供應系統(Water supply system)， 機電供應系
認證 / Certification 統(MEP supply system)，然而金屬管銲接方式眾多，其中以自動氬銲(GTAW)及手銲廣泛用於
製程及系統管線銲接，因此管線銲接的品質將影響半導體製程生產及工廠安全，隨著半導體
製程持續演進，管路銲接品質更顯重要。本文針對金屬管線銲接法規標準及銲工認證方式進
行探討並發展台積專屬認證流程，依循此流程可達到銲接效果如降低成本、保障生命安全、
提高工作效率及降低重工機率從而促進工程進度。
1. 前言
金屬板材及管件銲接，廣泛應用於半導體業、石化工業、 表面光滑不必剃除銲渣且品質優良，常用於高潔淨製程金
建築鋼構、金屬加工及製造業等之銲接工作。其中半導體業的 屬管銲接，例如特殊氣體(specialty gas)管路銲接。
廠房鋼構、廠務設施及氣體供應系統等之金屬銲接則以電弧銲 金屬電弧銲接工法中，以氬銲(GTAW)銲接之銲道潔淨度
(Arc Welding)工法為主。 及品質最佳，尤其適合小管徑、無背襯、無法從背面銲接又
半導體產業常用之金屬材料銲接方式 : 須全滲透的銲道，因此半導體業之高潔淨製程金屬管皆使用
① 遮護金屬電弧銲接(Shielded Metal Arc Welding, SMAW)， 氬銲銲接。
俗稱電銲(圖1)，銲接效率低，常用於鋼筋補強銲接及碳鋼 早期銲接品質良率參差不齊，常會導致系統運轉經過一
支撐架(support)銲接。 段時間後發生問題，造成運轉成本增加，因此如何確保銲接
品質是刻不容緩的事。本文將以金屬管線銲接法規標準為根
② 氣體遮護金屬電弧銲接(Gas Metal Arc Welding, GMAW)，俗
本，搭配銲工認證方式與訓練，呈現目前工區如何進行金屬
稱半自動銲(圖2)，搭配銲料自動傳送系統，銲接效率高且
管線銲接的管理，藉由原理認知及訓練認證，提昇銲接品質，
銲道穩定，常用於結構物鋼構銲接及碳鋼桶槽(Tank)銲接。
進而達成使建廠過程更順利、更安全的目標，並可推廣至成
③ 惰氣遮護鎢極電弧銲接(Gas Tungsten Arc Welding, GTAW)
廠區，達到3贏的局面。
俗稱氬銲(圖3)，可用於手動銲或自動銲接，此種銲接銲道
大
個人進台積工作以來皆從事廠務水處理工作，很榮幸 25年以上3rd party經驗，個性嚴謹、喜歡與
有這個機會轉換跑道來到新工單位從事建廠品質/安全 人交流，為人信守承諾 ; 遵守職業道德。愛
的管理，期許自己能持續挑戰不同面向的工作，對部 好的運動有 : 網球、足球、保齡球，靜態時
門作出貢獻。 喜歡看書等。
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