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Notes
技術專文

TSMC / FACILITY PUBLISHED
VOL.43
廠務季刊

URL.http://nfjournal/

廠務技術發展實務(看法與作法)

Practice of Facility Technical Development

文│于 淳│廠務技術發展部│

摘要 / Abstract

廠務主要工作是依靠三大支柱保養、警報和巡檢來維持工廠穩定運作，隨著製程技術的演進，廠務也需要技術發展來滿足
先進製程生產和環境永續的目標，畢竟技術發展是製造業維持競爭力的根本，廠務技術發展的做法可由感測器開發、防禦過濾
來優化單元系統、系統智能化整合，最後再結合人的目標管理，來達成廠務技術發展的自主創新。

關鍵詞 / 5G、感測器、過濾、關鍵績效指標KPI

The main task of Facility is to maintain the stable operation of fab production by relying on the three pillars of
predictive maintenance, alarm, and inspection. With the evolution of process scaling down, Facility also requires
technological development to meet the goals of advanced process production and environmental sustainability. After all,
the technological development is the foundation for industry to maintain its competitiveness. The Facility technology can
be accomplished by sensor development, defense filtering to optimize unit systems, intelligent integration of systems,
and combination with target management to achieve indigenous innovation of facility technology development.

Keywords / 5G, Sensor, Filtration, KPI

1. 前言

[01]
1.1 廠務技術發展目標 送、生產廢棄物排放回收管理等(圖1) ， 當然還有達成零工
安事件管理， 因此廠務之於半導體工廠是一切運轉的基礎根
科技的創新與發展一直是社會進步和經濟成長的重要基
本，所謂萬丈高樓平地起，若基礎根本不好怎麼能讓從事極
石，近年來科技的發展更是取決於半導體科技產業的進展，
精密製造的半導體工廠可以維持穩定的運轉呢?
好比最近全球電動車的發展受限於車用晶片的產能，另外從
中美貿易戰要學會見微知著，《論語衛靈公》 :「子曰 :『人
安全監控系統 中央監控系統 消防系統
無遠慮，必有近憂。』」，關鍵技術不想受制於人一定要能
自我研發自我掌握，競爭力管理大師Michael E. Porter :「競爭 超純水 空污處理系統
的兩個極端 : 一是做到最優，一是做到獨特。爭取第一的競 大宗氣體 FAB
特殊氣體 (晶圓製程系統)
爭將助長學習，以獨特性來競爭將促進創新，且唯有開放，
化學品 水污處理系統
才能保有競爭力。」，為確保公司維持半導體代工的競爭力
與永續經營，廠務做為公司的一份子也必須要有技術發展， 電力系統 冰水系統 空調系統 其他系統
因為半導體廠務的工作任務除了如期蓋好一座穩固的工廠，
圖1、晶圓廠廠務系統示意圖
之後還要負責穩定不斷電的供電、潔淨的無塵室、提供純淨
的超純水(UPW : Ultrapure water)、 維持生產原料高品質的輸

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