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Tech
Notes
技術專文
[11] In-situ-instruments of Microdevice Laboratory, NASA/JPL.
https://microdevices.jpl.nasa.gov/capabilities/in-situ-instruments/
[12] Osman Zakaria and Mohd Fazlin Rezali/Procedia-Social and
Behavioral Sciences 121(2014) 204–213.
[13] 台灣積體電路製造股份有限公司「108 年度企業社會責任報告書」。
[14] US EPA,"Method 537.1: Determination of selected per- and
polyfluorinated alkyl substances in drinking water by solid phase
extraction and liquid chromatography/tandem mass spectrometry"
Version 1.0. November 2018. J.A. Shoemaker and D.R. Tettenhorst
US EPA, Office of Research and Development.
作者介紹
吳連芳 Richard Wu
1991年國立清華大學原子科學研究所畢業。
1991~2000年德碁半導體公司(IQC & Chemical Lab)；
2000~2021年台積電。30幾年的化學微量分析與半導體製
程微污染監測防治經驗，善用化學分析方法協助工廠找出污
染原因，參與無數次的製程污染問題解決與規格制定，包含
AMC、Material、Process相關問題。
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