Page 57 - Vol.43

失的唯一方法，就是找出真因並消除它。
分析數據 線上數據 廠務實驗室的技術發展目標，專業化→即時化→標準化，
氣櫃 系統
切換盒 在專業技術上，建立廠務專有的分析技術有機、無機、微物及
氣瓶櫃
氣體分析儀
特殊氣體房 和採樣器 材料熱機械分析，然後將重要項目轉化為有效的即時監測，避
分析氣體 免立即的危害，最終目的是希望藉由追根究底的分析，提供正
清 洗氣體 N2 氮氣清洗 N2 排氣
Cabinet 1 Cabinet 2 Cabinet 3 Cabinet 4 Cabinet 5 Cabinet 6 Cabinet 1 Cabinet 2 Cabinet 3 Cabinet 4 Cabinet 5 Cabinet 6 確地分析結果，找出影響品質的癥結，協助制定標準，從系統
設計、材料選用、日常維護整體考量，提升品質。
氣櫃切換盒
QC-L QC-R
我們相信最了解問題的人，就是系統使用者、維護者，
流量計
他們是最能找到答案的人，未來在北、中、南廠區密集區域
Specialty gas Specialty gas 離線取樣器 GC-MS, IC, FTIR, ToFMS 標準氣體 應建立廠務實驗室(圖15)，及時支援廠務運轉的分析需求，協
氣體分析儀
或
CRDS, GC-PDHID
助澄清問題、解決問題，讓廠務的系統運轉最佳化。
(特殊需求取樣)
滲透管
特殊氣體線上監測系統
圖13、特殊氣體線上監測系統設計概念圖

3.3.6 化學過濾器(Chemical Filter)測試系統
在最先進的半導體製程，由於線寬小至奈米級，微小的
粒子變成產品的殺手，過濾器的功用在去除微粒子，但在去
除微粒子的同時，過濾器本身不能變成另一污染源，一套過
濾器測試專用的模擬系統(如 圖14)，將設計用來作為過濾器
品質評估及故障分析。在品質評估上，過濾器(濾膜和外殼)
經由浸泡、流洗、取樣後，以ICP-MS、IC、GC-MS、LC-
MSMS、particle counter分析濾膜或外殼的品質，包括微粒
圖15、廠務實驗室組織架構
子濾除效率及溶出物；在故障分析上，過濾器可經由逆洗方
式，流洗出過濾物進行分析，了解失效原因，進一步可以訂
定過濾器的使用規範。這樣的系統可用於不同種類的過濾器 參考文獻
或具有吸附功能的純化器。 [01] 2019 IEEE, "International Roadmap for Devices and System 2018
update Yield Enhancement"
[02] 今村均，DAIKIN[技術報告]關於PFA管材表面粗糙度之新提案。
http://www.taiwandaikin.com/news-detail/10, 2020.08.05
主要測試功能: [03] 師昌緒主编，材料大辭典，化學工業出版社，1994，p851。
1.Filter 正洗品質評估
2.Filter 逆洗故障分析 [04] Kasper L. Jepsen *, Mads Valentin Bram, Simon Pedersen ID and
3.Filter 壓損分析
4.Filter 流量分析 Zhenyu Yang, Membrane Fouling for Produced Water Treatment : A
壓力計 排氣 壓力計 5.Filter 濾效分析(LPC)
1 2 流量計 Review Study From a Process Control Perspective, Water 2018, 10,
溶液桶 泵
847; doi:10.3390/w10070847.
[05] Shanxue Jiang, Yuening Li, Bradley P. Ladewig, A review of reverse
逆洗取樣 Filter 正洗取樣
osmosis membrane fouling and control strategies, Science of the
粒子計數器 Total Environment 595(2017)567–583.
銜接點
[06] Author Gerd Heser, Coauthor Jochen Ruth, How Can Preventative
Maintenance Of Filters Ensure The Highest Quality UPW at Lowest
圖14、簡易化學過濾器(chemical filter)測試系統圖 Cost Of Ownership?, ULTRAPURE WATER, January 2016.
[07] Beata Malczewska & Andrzej Żak, Structural Changes and
Operational Deterioration of the UF Polyethersulfone(Pes)
4. 結論 Membrane Due to Chemical Cleaning, Scientific Reports, 2019, 9,
422 ; doi:10.1038/s41598-018-36697-2.
在半導體工廠中，廠務系統的品質維繫到生產線的運作 [08] E. Zondervan et al., Statistical analysis of data from accelerated
與產品品質，在系統的運轉上，稍有不慎往往造成莫大的損 ageing tests of PES UF membranes, Journal of Membrane Science
300(2007)111–116.
失，「長眼睛」便成為工廠解決問題的代名詞，好像只要有 [09] Designing A Mars Rover To Launch in 2020. NASA/JPL.[2020-03-06].
「眼睛」盯著，問題就會消失，其實不然，儘管監測系統再靈 https://mars.nasa.gov/mars2020/spacecraft/instruments/
[10] Core Competencies of Microdevice Laboratory, NASA/JPL.
敏、再即時，當偵測到異常時，其實「問題」都已經發生，事
https://microdevices.jpl.nasa.gov/capabilities/
實上，「長眼睛」只能降低影響，問題並不會消失，要問題消

FACILITY JOURNAL 09 2021 55