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3.3.2 Gasket SEM-EDX彈道比對 積物(3~13um)造成表面粗糙不平整；SEM發現異常墊片表
面有龜裂現象，而EDX測得異常墊片表面有較高的溴元素
針對HBr洩漏事件進行墊片(gasket)殘留物分析，利用
(10~30%)，EDX素像(EDX elemental mapping)顯示，在裂縫
3D顯微鏡及SEM/EDX檢視墊片及分析(如 圖10)，圖10ⓐ3D
處有較高的鎳元素(墊片成分)，由溴鎳素像成互補的現象可
顯微鏡觀察墊片的立體凹凸面，重複試驗發現pigtail側的壓
說明表面覆蓋一層溴化物，這樣的手法未來可用於管材品質
痕重複出現在三個墊片上，且使用一天漏氣的墊片發現壓
的檢驗及異常處理，有助於問題的釐清與改善。
痕特別深；圖10ⓑ3D顯微鏡觀發現異常墊片上有較多的沉

ⓐ
新鋼瓶，新墊片 鋼瓶使用1天，異常墊片 取下異常墊片，更換新墊片
鋼瓶側 Pigtail側 鋼瓶側 Pigtail側 鋼瓶側 Pigtail側

①鋼瓶側無明顯刮痕 ①鋼瓶側無明顯刮痕 ①鋼瓶側無明顯刮痕
②Pigtail側 : ②Pigtail側 : ②Pigtail側 :
刮痕深度約1.5um 刮痕深度約14um 刮痕深度約1.0um
1.0um
1.5um 14um

ⓑ
分析方法 正常gasket 異常gasket(鋼瓶側) 異常gasket(pigtail側)
3D顯微鏡 表面光滑平整，極少部分Br沉積 表面粗糙，明顯Br沉積 表面粗糙，明顯Br沉積
(厚度<2um/面積<5%) (厚度3~13um/面積>60%) (厚度1~2um/面積80%；厚度>8um/面積~5%)
正常gasket 異常gasket 異常gasket
鋼瓶側 Pigtail側

13 um 10 um
0.9 um

SEM/EDX Ni 82%~100%；Br 0~13%；O 0~4% Ni 53%~83%；Br 12~30%； Ni 70%~87%；Br 10~24%；
O 3~7%；Fe 3~9%；Cr 0~4% O 0~7%；Fe 0~5%

異常gasket Br Ni Fe Cr
鋼瓶側

使用週期 2 週 4天 4天

圖10、利用3D顯微鏡及SEM-EDX進行墊片分析
ⓐ同組鋼瓶與pigtail重複試驗出現相同刮痕，刮痕處易受溴化氫侵蝕；
ⓑ異常墊片表面粗糙，溴化物沉積龜裂，龜裂處鎳裸露，且溴鎳素像(Mapping)明顯互補

FACILITY JOURNAL 09 2021 53