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3.3 10% He/N 2 Mixer 作者介紹
如前所述，目前廠內的大宗氣體供應系統所供應的He及 劉俊男 Chun-Nan Liu
國立交通大學環境工程研究所博士。進入公司即將邁入第八
N 2 ，其品質遠高於10% He/N 2 鋼瓶，再加上目前廠內也已有類 個年頭，回首來時路，內心總是充滿感激。感謝一路上給予
似的混氣系統，如4% H 2 /N 2 、10% H 2 /N 2 及1.2% He/N 2 等，相 提攜與幫助的長官和同事們。
關技術已相當成熟，可穩定地供應給線上生產使用，因此在 林郁賢 Y.H. Lin
國立成功大學環境工程研究所畢業。感謝團隊讓我有機會參
廠務端自行設置一套高品質的10% He/N 2 提供氣櫃作為沖吹氣 與這次的廠務季刊，感謝各位先進的建議與指導，希望能持
續為廠務貢獻自己。
體，也不失為一項選擇。
蔣竣光 C.K. Chiang
Mixer看似可解決目前10% He/N 2 鋼瓶水份不純物過高問 國立台灣科技大學化學工程研究所畢業。時光飛逝在氣化課
題，但仍有實際運轉面上的考量。首先，必須考慮到壓力的 已過八個年頭，在此學習到許多經驗和工作態度；分享二句
話「做一個簡單的人，踏實而務實」，「沒有不會做的事，
問題，目前氣櫃沖吹氣體壓力約為80至90psig，而Bulk gas經 只有不想做的事」。
過純化器後的供應壓力約為120psig，若再經過mixer及管路管 林安助 Andrew Lin
0到1有無限的可能，我們要做的就是不要停留在原地。
損，或是考量多個氣櫃同時進行沖吹的狀況，到氣櫃端進行沖
吹時，恐有瞬間壓力不足的狀況。再者，基於成本與廠務氣體
房空間的考量，10% He/N 2 mixer會以一對多個氣櫃模式供應
沖吹氣體，此時則須考量到閥件內漏，逆止閥失效導致氣櫃內
的實氣倒灌回mixer，進而造成其他氣櫃受到汙染的狀況。

4. 結論與建議

5% B 2 H 6 /Ar氣櫃盤面調壓閥被其生成的粉末狀副產物所
阻塞，為一項困擾廠務端工程師許久的系統宿疾。粉末副產物
生成之主因分別為B 2 H 6 鋼瓶因溫度變化所產生的降解反應，以
及B 2 H 6 和管路中殘餘微量水分的反應。針對前者，本文提出於
鋼瓶出廠運送過程保持低溫溫控，到廠務端後則利用17℃冷卻
器包覆鋼瓶，來達到減緩B 2 H 6 降解反應的效果。此做法不管在
執行面上或是成本效益考量上，均相當值得一試，惟須考量
到B 2 H 6 因降解減緩，濃度略微改變，線上機台recipe需配合調
整。在降低管路殘餘微量水分方面，本研究則透過實驗，確認
了目前氣櫃所用的純化器，因選用的orifice未能有效地將流量
控制在純化器的建議操作流量內(<10 slpm)，使其水分去除效
果有限，進而讓10% He/N 2 鋼瓶中，原本含量就不低的水分有
機會殘留在管路中，並和B 2 H 6 進行反應。除此之外，本文也建

議可從源頭端，要求供應商提供水分不純物更低的10% He/N 2
鋼瓶。至於文中提到的另一項方法，10% He/N 2 mixer，雖是
最有效提升10% He/N 2 品質之做法，但建議未來在成功克服供
氣壓力穩定及防止氣櫃倒灌這兩項問題之後再行導入。

參考文獻
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[04] Choked Flow of Gases, Tutorial. https://www.okeefecontrols.com/
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FACILITY JOURNAL 12 2021 29