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5. 結論
本次研究以氯氣為研究對象，針對特氣元件更換過程中
的實際條件，計算出所需控制的環境濕度，並成功在實際更換
過程中驗證此手法精進的可行性。此更換手法除了能減少HCl
的形成，降低特氣元件被腐蝕及形成二次汙染的情形，同時也
減少操作人員接觸腐蝕性氣體的風險。

參考文獻

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圖6、現場溼度計讀值
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4.2 設備機台檢測
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本次研究搭配設備機台(AMET-B)PM停機更換，在更換完
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勻度Etch rate uniformity, E/R uniformity進行monitor，確認更
McGraw-Hill; New York, 1970.
換前後品質相符(圖7)，也驗證此PM精進手法的實際應用性。
作者介紹

陳建佑 Chien-Yu Chen
國立台灣大學環工所畢業。
No pain, no gain.

圖7ⓐ、PA count

圖7ⓑ、E/R & E/R uniformity

FACILITY JOURNAL 12 2021 83