Page 84 - Vol.44

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技術專文

圖3、HCl生成濃度-相對溼度關係圖

圖4ⓒ、VMB cover現場架設圖

圖4ⓐ、VMB cover示意圖

圖5、VMB閥件更換精進程序

4. 結果分析

4.1 環境濕度控制及異常濃度檢測

-8
混合氣的含水量為0.5ppb，水氣濃度(2.78*10 M)相較於
2
圖4ⓑ、VMB cover側視圖 環境中含水量可忽略。在混合氣出口壓調為2kg/cm 的情形
下，在此次前置作業時可在1分鐘內達成相對溼度<10%的目標
(如 圖6)。同時在更換過程中(更換時間 : 461sec) ，氯氣偵測器
讀值也都為0，確保無殘留氯氣或水解產生之含氯化合物。

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