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2. 文獻回顧 2.3 案例三_P1234 HCl/NaOH儲存槽洩漏
2.1 案例一_F14 P12 CAX陽塔樹脂桶槽洩漏 水系統處理中，WWT與UPW的系統皆有使用HCl/NaOH
的化學品，主要目的為用來控制水中的pH值或進行樹脂再
純水系統中，陰陽塔樹脂桶槽在產水固定噸數後須進行
生，故化學品的儲存桶槽將顯得格外重要，否則系統在運轉下
再生(使用HCl、NaOH化學品)，如此一來才能持續進行水中陰
將無法正常進行。
陽離子交換，降低水中導電度。
HCl/NaOH的化學品都使用FRP的材質桶槽進行儲存，因
F14 P2 UPW CAX陽塔樹脂桶槽在長時間的運轉下，逐
FRP材質特性為質輕、堅硬、無導電性、耐腐蝕，故為良好的
漸發生陽塔底部蝕穿(圖1)，導致樹脂桶槽洩漏。每每發生樹
儲存桶槽材質。而在F14 P12(HCl)與P34(NaOH)的化學品儲存
脂桶槽洩漏，當下都須進行緊急搶修，將桶槽外部進行補焊
桶槽都發生過洩漏情況(圖4)，經研究分析後發現，洩漏位置
CAP(圖2)，避免桶槽持續洩漏。
都在桶槽底部，並更深入了解後可能為桶槽塗層不足與施工工
法不正確之原因所致。 [04]
圖1、F14 P2 UPW CAX桶槽底部leak情況
圖4、P12 HCL桶槽底部滲漏(圖左)；P34 NaOH桶槽底部修補
3. 研究方法
3.1 研究架構
水處理系統桶槽洩漏分析與防治
圖2、F14 P2 UPW CAX桶槽底部leak Cap修補
F14A水處理系統桶槽洩漏調查與統計 桶槽洩漏失效原因分析與檢驗方式
2.2 案例二_F6 DIR桶槽洩漏 結構設計 材質選用 施工手法 檢驗手法
UPW DIR Tank為收集製程端用來清洗晶片後的水，相較 了解桶槽洩漏真因與驗收標準建立
於其他製程水來說，是非常乾淨的一股水，故在UPW系統中
會將該股水進行回收，再次回到純水中進行過濾使用，此股水 3.2 調查分析桶槽廠區
也較於自來水乾淨，為純水系統中不可或缺的一股來源水。 3.2.1 F6桶槽洩漏情況
在F6 UPW收集DIR的Tank使用PP板材質，在系統長期運
F6調查統計桶槽洩漏情況，發生洩漏的桶槽為P1純水回
轉下，桶槽因承受力不足，在側面產生破裂(圖3)，造成嚴重
收DIR的桶槽，洩漏點為桶槽桶身中段約兩米處，該處桶槽損
的洩漏。
壞率為33%(2/9)
3.2.2 F14 P12桶槽洩漏情況
F14 P12統計桶槽洩漏情況，發生洩漏的桶槽為P2
UPW CAX桶槽，洩漏點為桶槽桶底，該項桶槽損壞率為
66%(2/3)；P12純水化學品HCL儲存桶槽，洩漏點為桶槽桶
底，該項桶槽損壞率為100%(2/2)；P2 UPW DIR桶槽，洩漏點
為桶槽桶底，該項桶槽損壞率為66%(2/3)。
圖3、F6 DIR桶槽側面破裂
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