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表4、F14B歷年檢測資料 表5、F14B煙囪依法規所訂方法計算排放限值
項目 年分 2017 2018 2019 2020 2020(自檢) phase 排放As煙道 管道排放量標準 歷年檢測排放量 以最大許可風量運轉，
檢測公司MDL SGS 3.23E-06 (q=風量*濃度) 管道排放量標準 As最大可檢出濃度
上準 1.30E-04 單位 : g/s 單位 : % 單位 : mg/Nm
九連 8.90E-05 8.40E-05 8.70E-05 2.00E-05 P5 FE SEX 1.56E-03 0.04~0.21 0.2335
P5 FE SEX P101 1.66E-04 2.00E-05 P6 FE SEX 1.49E-03~1.57E-03 0.03~0.12 0.2684~0.2824
P102 8.90E-05 BE SEX
P103 EPI
P104 P7 FE SEX 1.41E-04~9.59E-04 0.14~3.82 0.012~0.0822
P105 BE SEX
P106
P108 8.40E-05
P109 8.40E-05 2.00E-05 表6、F14B LSC CS250藥劑桶出口採樣結果
P110 類別 phase 採樣 分析結果 監測結果 容許濃度標準 檢量下限 CS250
P6 FE SEX P202 地點 (mg) 空氣中濃度 (mg/m ) 3 (mg) 使用時間
P203 8.90E-05 (mg/m ) 3 (年)
P204 CS250 P5 LIMI76 <0.00005 <0.00002 0.01 0.00005 2.47
P205 P5 LIHEA1 0.0000891 0.00004 4.82
P206 P6 MIMIV2 <0.00005 <0.00002 2.42
P207 P6 MIHITK <0.00005 <0.00002 3.93
P208 P6 MIMIS5 <0.00005 <0.00002 4.66
P209 P6 MIMI71 <0.00005 <0.00002 3.27
P210 P7 FIHI7P 0.0001024 0.00004 5.19
BE SEX P217 8.40E-05 P7 FIHI7N <0.00005 <0.00002 1.95
P218 8.40E-05
P219 8.40E-05
P220 8.40E-05 表7、F14B submain採樣結果
P221 8.40E-05
P222 8.40E-05 類別 phase 採樣地點 分析結果(mg) 監測結果空氣中濃度(mg/m ) 3
P223 8.90E-05 8.40E-05 Submain P5 EF-B1F-S103 <0.00005 <0.00002
P224 8.40E-05 P5 EF-B1F-S102
P225 8.40E-05 P5 EF-B1F-S106
EPI P211 8.40E-05 P6 FF-2F-S301
P212 8.40E-05 P6 FF-B1-S302
P213 8.90E-05 8.40E-05 P6 FF-B1-S303
P214 8.70E-05 P6 FF-B1-S301
P7 BE SEX P101 8.70E-05 2.91E-04 2.00E-05 P7 GF-2F-P102
P102 8.90E-05 1.30E-04 8.70E-05 P7 GF-2F-S203
P103 8.70E-05 P7 G1-B1-S102
P104 8.70E-05
P105 8.70E-05 2.00E-05 表8、F14B煙囪採樣結果
P109 8.70E-05
P110 8.90E-05 1.30E-04 8.70E-05 phase 煙囪As濃度 (mg/m ) 3 藥劑桶更換數量 Remark
P111 8.70E-05 M010(SGS) 更換後M103(SGS) M010~M103
P112 8.70E-05 14B 1.16x10 -4 7.99x10 -6 62 優先更換
FE SEX P119 8.70E-05 2.91x10 -4 3.5Y以上
P120 8.90E-05 1.30E-04 8.70E-05
P121 8.70E-05
P122 8.70E-05 2.00E-05 5. 結論
P123 1.30E-04 8.70E-05
P124 8.90E-05 1.30E-04 8.70E-05 5.1 研究貢獻
P125 8.70E-05 2.00E-05
P126 8.70E-05 煙囪排放之砷及其化合為有害空氣汙染物不僅危害民眾
P127 8.70E-05
健康也污染環境，處理砷化氫之現址式空污防治設備因成本
管控考量延長藥劑桶之使用時間以不超過4年為上限。

5.2 建議

① 可參考原物料砷化氫(AsH 3 )之使用量進行評估，搭配FTIR
量測使用接近4年之CS250吸附桶出口濃度值。
② 煙囪檢測砷及其化合物可以評估每年不同檢測公司交叉比
對濃度差異。

FACILITY JOURNAL 03 2022 71