Page 68 - Vol.45

Tech
圖10、FFU聯動之控制邏輯判斷
選定小範圍製程區域進行測試，結果如 圖11所示，圖左
下方紅框區域為DIF1區域，在未調整前，經測量溫度最低可
達21.5℃，與目標值22℃約有2.3%的偏差，在經過幾次IOT回
傳且自動連動FFU調整轉速後，經由濃度分布顯示DIF1過冷區
塊已消失，溫度範圍約在22±0.2℃之間，與目標值偏差已小
於1%，因FFU減載，DIF1區域已漸漸趨近於目標溫度呈現溫度
均勻分布。
圖11、IOT回授數值連動FFU後進行CR內溫度濃度分布判斷，
在紅框處(測試區)，由左至右，由上至下溫度趨近於均勻化
66
Notes
技術專文
5. 結論與展望
無塵室IOT溫度回授導入FFU連動之後，無塵室裡面除由
DCC控制既有溫度表頭穩定外，其餘小範圍區域在AGV進行
巡檢時，可自動連動測量點上方FFU轉速來達到區域溫度穩
定控制。期望能達到CR內各區溫度均勻化目的，另外也可節
省人員調整FFU的工時，值班人員僅須每日觀察AGV巡檢時
回傳的各區溫度報表來確認是否需要手動介入調整即可。此
專案目前已在各廠區陸續導入進行驗證，未來依照同樣的方
式更可以監控CR內的潔淨度及AMC，將各區域particle數值及
AMC數據導入IOT回傳，藉由AGV巡檢時回授數據，亦可連動
FFU轉速，便可進行CR內潔淨度的調整及AMC監控。
參考文獻
[01] 資訊系統，維基百科，網址：https://zh.wikipedia.org/wiki/%E7%8
9%A9%E8%81%94%E7%BD%91
[02] 林則孟，晶圓廠自動化物料搬運系統之動態車輛配置，行政院國家科
學委員會補助專題研究計畫。
[03] 蕭睿呈、林安祺、朱晃民，自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣
品質量測，TSMC 300mm FABS廠務季刊第35期，2019。
[04] 李昇修，建構台積電製程機台能源管理系統，TSMC 300mm FABS廠
務季刊第37期，2020。
[05] 張子鴻，應用αduino物聯網技術於強化廠務設備之故障預知能力，
TSMC 300mm FABS廠務季刊第29期，2018。
作者介紹
蕭睿呈 Rich Hsiao
「快樂廠務」，最初總覺得難以體會其中的意境。直到年資
漸長，學以致用，開始碰到 「自我實現」 的邊界後，才開始
了解箇中樂趣。「快樂工作、享受生活」，是身為廠務人的
終極目標。很高興第三次藉由廠務季刊平台記錄工作點滴，
將其傳承分享的過程，就是目前我在工作上的樂趣了。