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2.2 LSC處理砷化氫原理 下，LSC對AsH 3 之DRE可達99.8%(inlet 92.7ppm/outlet N.D.
(以儀器偵測下限(LDL)作計算，0.21ppm))。
2.2.1 LSC-CS250-SC2簡介
廠內的藥劑桶更換標準依O.I.規範原為當使用時間超過各
目前廠內使用之吸附式LSC為吉利康-CS250-SC2，其 製程設定的標準時間時(表2)，需進行CS250SC2之藥劑桶更
裝置示意圖如 圖2，包含主藥劑桶(Column)、備用小藥劑桶 換，而在成本管控考量後，改以LSC的實際運轉表現作為更
(Bypass)、氣路三通閥件(Valve)，以及出口風機(Blower)，其 換藥劑桶的依據，即：當①AsH 3 出口濃度大於0.05ppm或；
中主藥劑桶內含吸附劑，為吸附有害氣體之主要區域；備用 ②LSC壓力大於0.1 bar時，需進行CS250-SC2之藥劑桶更換。
小藥劑桶亦含有吸附劑，用於當主桶保養時，確保管路內的
殘餘氣體同樣經過處理才會被抽至排氣管路；三通閥以壓縮
表2、O.I.規範藥劑桶更換標準
乾燥空氣(Compressed Dry Air, CDA)做為驅動源，透過程式
製程 Life Time(Year) Performance
控制，使目標氣體切換至正確的管路；出口風機用來平衡藥 Implant 使用時間<2.5 1. AsH3出口濃度<0.05 ppm
[04]
劑桶之壓損，降低主排氣系統的負載 。 High Current 使用時間<3.5 2. LSC壓力<0.1 bar
製程尾氣流動方向如 圖2中藍色路徑所示，設備端製
程結束後的殘餘氣體，透過真空泵(Dry Pump)抽至LSC進氣 2.3 砷及其化合物檢測方式
端，入口三向閥在正常運轉狀態下將會連通進氣端與主藥劑 2.3.1 排放管道中重金屬檢測方法
桶，當製程尾氣流經藥劑桶時，藥劑桶內之吸附劑會以化學
排放管道排放之粒狀物以等速吸引方式被收集在採樣管
吸附的方式去除製程尾氣中AsH 3 、BF 3 、PH 3 ，與NH 3 等有害
內及濾紙上，而排放之氣態部分以酸化過氧化氫溶液(分析包
氣體，接著經由廠務端酸性排氣系統(SEX)抽至中央洗滌塔
含汞在內之待測金屬)收集(圖3)。收集之樣品經消化並取適當
(Central Scrubber)再進行一次加藥(Dosing)處理，最後透過煙
量以感應耦合電漿原子發射光譜儀(ICP-AES)或火焰式原子吸
囪排放至大氣。
收光譜儀(Flame-AAS)測定砷(As) 。
[02]
分析砷(As)等金屬時，若需要比感應耦合電漿原子發射光
譜儀(ICP-AES)更高之分析靈敏度，可使用石墨爐式原子吸收
光譜儀(GF-AAS)，各分析儀器針對As之偵測極限整理如 表3。

圖2、CS250-SC2裝置示意圖

2.2.2 CS250-SC2處理效能驗證 圖3、排放管道中重金屬檢測方法

目前以去除效率(Destruction Removal Efficiency, DRE)來
表3、分析儀器對As偵測極限
量化LSC之處理效能，定義為目標物質在LSC入口端的濃度與
該物質在LSC出口端的濃度比值，即： 分析方法 ICP-AES Flame-AAS GF-AAS
感應耦合電漿原子發射光譜儀 火焰式原子吸收光譜儀 石墨爐式原子吸收光譜儀
As偵測極限 53ng/mL 2ng/mL 1ng/mL

2.3.2 勞工作業環境監測
F14B委由工業技術研究院以FTIR(Fourier-Transform
將纖維素酯濾紙(0.8 m，直徑37mm)裝於濾紙匣中採
Infrared Spectroscopy)量測進行CS250-SC2之處理效能驗證，
集，抽氣流率1~3L/min應採集的空氣體積約30~1000L，採集
可知在入口濃度為設備端可通入之AsH 3 最大流量(約5sccm)
完後之樣品以火焰式原子吸收光譜儀(Flame-AAS)氫化產生器

FACILITY JOURNAL 03 2022 69