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② Reactor(700~800℃)
Deionization & Oxidation Deionization & Reduction
NF 3(g) + NH 3(g) → N 2(g) + 3HF (g)
SiH 4(g) + 2O 2(g) → SiO2 (S) + 2H 2 O (g)
2H 2(g) + O 2(g) → 2H 2 O (g) 2NF 3(g) + 3H 2(g) → N 2(g) + 6HF (g)
3NF 3(g) + 5H 2 O (g) → 9HF (g) + HNO 3(g) + 2NO (g) 3N 2 O (g) + 2NH 3(g) → 4N 2(g) + 3H2O (g)
4NH 3(g) + 5O 2(g) → 4NO (g) + 6H 2 O (l) 4N 2 O (g) + CH 4(g) → 4N 2(g) + 2H 2 O (g) + CO 2(g)
4NF3(g) + 5O 2(g) → 4NO (g) + 6OF 2(g)
N 2 O (g) + O 2(g) → NO (g) + NO 2(g)

① Inlet Scrubber
NH 3(g) + H 2 O (l) → NH 4 OH (aq)
③ Outlet Scrubber
F 2(g) + H 2 O (l) → HF (aq) + HOF (g)
HF (g) + H 2 O (l) → HF (aq) + H 2 O (aq)
NH 3(g) + H 2 O (l) → NH 4 OH (aq)
HF (g) + H 2 O (l) → HF (aq) + H 2 O (aq)
HOF (g) + 2H 2 O (l) → 2HF (aq) + H 2 O 2(l)
2H 2 O 2(l) → 2H 2 O (l) + O 2(g)
OF 2(g) + H 2 O → 2HF (aq) + O 2(g)
NH 4 OH (aq) ,
HF (aq)
圖1、水洗–電熱–水洗Local Scrubber處理尾氣之方式

表3、Local Scrubber運轉操作參數項目

LSC Type LSC Model Heater Torch NG/O 2 NG O 2 CDA Fresh
Temp Power Water
Thermal-Wet KT-1000FA V V V
WTC-300 V V V
Outlet Scrubber (w/ NaOH dosing)
IPI-310 V V V
4HF + 4NaOH → 4NaF (s) + 4H 2 O
CT Kaiser V V V
2SO 2 + 4NaOH → 2Na 2 SO 3(s) + 2H 2 O
Burn-Wet DAS ESCAPE V V
DAS STYRAX CVD V V
Edwards Helios Epi V V V V
Deionization & Oxidation
CF 4 + 2CH 4 + 4O 2 → 4HF + 3CO 2 + 2H 2 O Edwards Helios CVD V V V
Edwards Atlas V V V
4NF 3 + 4CH 4 + 5O 2 → 12HF + 4CO 2 + 2H 2 O + 2N 2
CHF 3 + 2CH 4 + 5O 2 → 6HF + 4CO 2 + 2H 2 O Plasma-Wet CSK CHAOS V V
Edwards Proteus V V V
2SF 6 + 4CH 4 + 7O 2 → 12HF + 4CO 2 + 2H 2 O + 2SO 2
4NH 3 + 3O 2 → 2N 2 + 6H 2 O Wet DAS Salix V
2.4 iSystem運作架構
圖2、燃燒–水洗Local Scrubber處理尾氣之方式
由於半導體機台實際運轉所使用的製程氣體及流量會依
製程所需進行調變，實際使用的流量會低於其MFC最大量，
2.3 Local Scrubber運轉操作參數
而Local Scrubber在上述運轉操作參數的設定是以其製程氣體
依據前述Local Scrubber處理尾氣的方式以及目前所使 MFC的最大量為依據，且其參數之設定值皆為固定值，因此
用的Local Scrubber種類，主要可調整的運轉操作參數類別為 有進一步節能的空間。
處理溫度、壓縮乾燥空氣(Compressed Dry Air, CDA)、天然 iSystem為美商應用材料公司(Applied Materials)一個控
氣(Natural Gas, NG)、氧氣(Oxygen, O 2 )做為氧化劑或還原劑 制半導體機台附屬設備節能的產品，其主體為一個電腦控
之流量、新鮮水(Fresh Water)做為水解及氧化還原反應之流 制器，可即時接收製程機台使用的製程氣體種類及流量，
量。(表3) 並依據控制器內部定義的附屬設備操作模式，即時傳達命
而Local Scrubber對於製程尾氣處理為滿足其排放規格， 令給附屬設備(例如：Dry Pump、Local Scrubber)改變其運
會以製程氣體MFC的最大量做為運轉操作參數設定之依據。 轉操作參數，亦即讓附屬設備Local Scrubber有了眼睛和大

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