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圖8、Chamber管路合併入LSC示意圖

4. 結果分析

4.1 LSC安裝空間靈活應用
F8 2台主機台對應2台LSC使用空間5.5m ，共節省30%空
2
間。變電站LSC移回無塵室機械區後(圖9)，解決區域設置不
當、管路過長且穿牆保養困難的問題。

圖10、標準配置及空間爭取配置主機台建壓效果

5. 結論

F8廠區因空間限制，導致LSC安裝覆蓋率低，為求空間
最大化應用，LSC安裝最佳化方案，以2個chamber合併進入
LSC單一inlet port，爭取30% LSC安裝空間，不僅將F8 CVD
製程LSC安裝覆蓋率提升為100%，亦不會影響製程主機台建
壓效果。同時將LSC錯誤安裝於變電站區域，矯正至無塵室機
械區。
圖9、F8無塵室4F機械區LSC安裝現況

參考文獻
4.2 真空泵建壓驗證 [01] 真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用。謝汎鈞，2011。
[02] 2015年我國真空幫浦市場分析。盧素涵，2016。
比較F8標準LSC入口配置(1個chamber對應1個port， [03] 螺桿真空泵為何使用氮氣。http://www.tplgzkb.com/news/287.html，
2020。
BCOX57)及空間爭取方案LSC入口配置為(2個chamber對應1個
port, BCOX51、BCOX52)對製程真空泵建壓影響。結果兩種
作者介紹
配置方式建壓效果相同。(圖10)
曾能駿 Neng-Chun Tseng
畢業於國立交通大學環境工程研究所，2017年於台積電F8就職，
負責AAS系統。能參與本次廠務期刊的評選深感榮幸，誠摯感謝
評選委員們的肯定，也感謝一路以來支持我幫助我的弟兄們，讓
我們一起Keep Learning, Keep Growing, Keep Succeeding。
李家維 Chia-Wei Lee
畢業於國立中央大學環境工程研究所，2015年於台積電F8就
職，負責LSC系統。感謝所有LSC/AAS弟兄與設備/製造部同
仁協助安排協調停機，以順利執行此改善計畫。
謝穎至 Yin-Chih Hsieh
畢業於國立中山大學機械與機電工程學系研究所，2015年於
台積電F8就職，負責LSC系統。很榮幸參與廠務期刊的評選，
感謝委員每次於審查會議給予的寶貴意見，豐富本人廠務工
作職涯內容。

FACILITY JOURNAL 09 2022 17