Page 28 - Vol.47

Tech
Notes
技術專文

表4、CVD Olympia SiN ALD LSC-A FTIR量測結果
Test Gas Spec Local Scrubber Condition Inlet Conc. (ppm) Outlet Conc. DRE Remark
Ave. Max. (ppm)
NH 3 <35ppm/DRE>99% CDA : 60LPM@800℃ & LSS : 10LPM 11451.8 12025.7 1.7 >99.9% L.D.L : 1.98ppm
CDA : 0LPM@~22℃ & LSS : 10LPM 12008.2 12544.6 0.5 >99.9%
Background Conc. from Fresh Water(Inlet bypass to Backup LSC) N.D. 34.2 na
N 2 O DRE>90% N.D. 1.8 na L.D.L. : 1.43ppm
CDA : 0LPM@~22℃ & LSS : 10LPM N.D. N.D. na
NO <37.5ppm/DRE>99% CDA : 60LPM@800℃ & LSS : 10LPM N.D. N.D. na L.D.L. : 28.1ppm
CDA : 0LPM@~22℃ & LSS : 10LPM N.D. N.D. na
NO 2 <5ppm/DRE>99% CDA : 60LPM@800℃ & LSS : 10LPM N.D. N.D. na L.D.L. : 14.0ppm
CDA : 0LPM@~22℃ & LSS : 10LPM N.D. N.D. na
DCS(SiH 2 Cl 2 ) <5ppm/DRE>99% N.D. N.D. na L.D.L. : 0.46ppm
HCl <5ppm/DRE>99% N.D. N.D. na L.D.L. : 6.48ppm

表5、CVD Olympia SiN ALD LSC-B FTIR量測結果

Test Gas Spec Local Scrubber Condition Inlet Conc. (ppm) Outlet Conc. DRE Remark
Ave. Max. (ppm)
DCS <5ppm/DRE>99% Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@800℃ 4528.2 8587.8 N.D. >99.9% L.D.L.: 0.7ppm
(SiH 2 Cl 2 ) Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@650℃ 383.8 14685.7 N.D. >99.9%
HCl <5ppm/DRE>99% Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@800℃ 175.2 780.9 N.D. >84.1% L.D.L.: 7.85ppm
Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@650℃ 3064.8 7925.2 N.D. >98.4%
Unknown na Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@800℃ 15996.1 19154 N.D. >99.6% L.D.L: 3.95ppm
Enhanced Inlet Scrubber@LSS: 20LPM & CDA: 60LPM@650℃ 22874.4 88555.9 N.D. >99.9%
<35ppm/DRE>99% N.D. N.D. na L.D.L: 1.98ppm
NH 3

依據上述運轉條件，在WTC-300 LSC-B以FTIR進行Local 4.3 Local Scrubber運轉穩定性及節能成效
Scrubber入出口量測的結果，可發現入口僅有DCS, HCl(H 2
根據前述調整Local Scrubber的配置及處理方式後，Local
為雙原子分子，FTIR無法量測)，而無NH 3 物質。其次無論是
Scrubber的PM周期可由原來的1~2天，延長至LSC-A為180
在原先Local Scrubber預設腔體溫度800℃，或是將腔體溫度
天，LSC-B為14天。(圖9)
降為650℃，其出口DCS以及HCl的濃度皆為低於FTIR偵測下
而將Dry Pump出口Pumping Line加熱帶及Hot N 2 關閉，
限(DCS : 0.7ppm, HCl : 7.85ppm)，可推定其出口濃度低於
對於Pumping Line亦無任何不良影響，Dry Pump背壓始終保
1-STEL : 5ppm(DCS, HCl無STEL，以Ceiling值取代)或去除效
持穩定的負壓狀態。(圖10)
率可達99%以上。此外，我們在量測時有發現入口有測到一
綜合上述目前做法，在能耗及運轉成本的節省部分，可
個FTIR無對應圖譜的未知物種，但在出口該未知物種已可被
達一台機台每年節省耗電量213,434kWh、節省CO 2 排放141公
處理達到無法偵測的濃度，因此未來LSC-B欲進一步降低腔體
噸，以及新台幣662,931的運轉成本。(表6)
溫度，亦需確保該未知物種來源並可有效被去除。(表5)

圖9、CVD Olympia SiN ALD Local Scrubber入口壓力改善

26