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技術專文

3.2 真空泵排氣量與Local scrubber匹配 3.4 Local scrubber管路配置
F8 CVD製程尾氣最高為1500sccm(1.5slm)，真空泵氮氣 標準LSC入口配置為1個chamber對應1個port，兩台主機台
2
使用量為30~40slm，每台主機台3個chamber，單一機台排 對應三台LSC所需空間為8m (含保養空間)，F8 LSC入口配置為
2
氣量最大為125slm。LSC capacity為300slm，可處理兩台主機 2個chamber對應1個port(圖6)，安裝兩台LSC空間為5.5 m 。
台最大排氣量250slm，仍有15%彈性裕度。目前設計為一台
主機台對應兩台LSC或兩台主機台對應三台LSC，但F8礙於空
間限制，只能採用兩台主機台對應兩台LSC方式配置。以爭取
LSC安裝空間及覆蓋率。

3.3 Local scrubber空間規劃
F8無塵室4F機械區佈滿主機台附屬設備，無空間安裝
LSC(圖4)，day-1將LSC安裝於隔間後的變電站(圖5)，不符合
圖6、標準LSC入口配置(1對1)及F8 LSC入口配置(2對1)
空間設計規範，管路過長切穿牆及保養切閥皆有機會造成操
作錯誤風險。
依流體力學管中黏性流動特性，假設管內尾氣為空氣狀
透過拆除主機台閒置氣櫃及修改主機台附屬設備門型
態，雷諾數Re為104(式1)，管中流動為紊流。黏性效應會產生
架，並利用動線作為LSC定期保養空間，左右兩側utility規劃成
邊界層，當邊界層厚度發展完成，氣體完全充滿管中時(圖7)，
可拆式門型架，日後需異常處理時可進行拆卸及復歸，爭取空
較不會發生氣體夾帶粉塵滯留於管壁問題，依F8實際量測真空
間將變電站LSC移回機械區內。
泵出口風速3m/s，2個chamber管路合併位置建議距離LSC入口
1m處(式2)(圖8)，減少粉塵可能蓄積問題。

Re=ρvD/ (式1)
L=4.4(Re) D (式2)
1/6

Re : 雷諾數=104，黏性流體流動狀態。
(>4000為紊流，單位無因次)
3
ρ : 空氣密度=1.225kg/m 。
(1個標準大氣壓力atm，15℃狀態下)

圖4、F8無塵室4F機械區空間狀況 v : 管內風速=3m/s。(F8實際量測數值)
D : 管徑=0.05m。(F8 pumping line管徑2吋)
2
: 空氣黏度=1.81x10-5Ns/m 。(15℃狀態下)
L : 管流中入口長度。(單位 : m)

圖7、管路中入口區、發展流與完全發展流關係

圖5、主機台LSC安裝於變電站

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