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Tech
Notes
技術專文

目前在15B廠，累計在降低Local Scrubber熱負載之最佳 穩定運轉的提升，而欲達成上述「淨零排放」目標亦需要在
化運轉方式已有4種製程、186台Local Scrubber，另有5種製 Local Scrubber穩定運轉的條件下得以實現，兩者不但相輔相
程、99台Local Scrubber可以直接關閉和移除。每年節省之耗 成並能成就出更多更好的突破與創新。
電量達2,003萬度(kWh)、節省CO 2 排放1.1萬公噸，以及新台幣
約5,100萬的運轉成本。其中Local Scrubber降低熱負載以及將 參考文獻
其關閉之方式，不但可有效減少Local Scrubber的零件損耗， [01] 300/200MM/FAB BACKEND TOOL/LOCAL SCRUBBER ESH
SPECIFICATION FOR PURCHASING AND USED TOOL ESH
並可將管理的量能集中於需要處理的Local Scrubber，進而創
SPECIFICATION FOR PROCUREMENT, TSMC O.I. M-C00-16-03-002.
造Local Scrubber穩定運轉的正向循環。 [02] TSMC NEW FAB ESH DESIGN & CONSTRUCTION O.I., TSMC O.I.
A-RMS-01-03-041.
5.2 iSystem及Local Scrubber未來發展之方向 [03] Applied Materials/OLYMPIA®ALD，網址： https://www.
appliedmaterials.com/products/olympia-ald
目前Local Scrubber使用iSystem進行節能，其運轉操作 [04] 國家實驗研究院/科普講堂：越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子
層沈積技術，網址： https://www.narlabs.org.tw/xcscience/cont?xsms
參數的調變因受限於Local Scrubber可自動調整的層級數量較 id=0I148638629329404252&sid=0J249620566869873056
少，且Local Scrubber通常需處理來自機台多個製程腔體的尾
氣，故其在製程氣體使用下的非節能狀態運轉參數，僅能以 作者介紹
製程氣體的MFC最大量之總量為依據，對於Local Scrubber
李珩銘 Frank Lee
更進一步地節能、去除效率的提升及其有害副產物的降低， 交通大學工業工程研究所畢業。2001年進入台積電擔任QA
尚有可提升改善的空間。此外，根據製程尾氣的處理方式， 工程師，2004年加入廠務機械課，接觸Local Scrubber系統
至今已有約15年時間。榮幸參與本期廠務季刊的撰稿，Local
針對N 2 O或NOx的有效處理，通常需要藉由還原劑的參與才 Scrubber穩定運轉對於機台生產的穩定性以及製程尾氣的有
效處理佔有重要決定因素。欲達成穩定運轉目標，應從其本
能達成，而還原劑的有效使用需搭配正確的時間及流量，以 質著手，希望藉由此篇文章拋磚引玉，激發讀者更多的創新
達最佳去除效率及避免未反應之還原劑排放。因此，未來 與成就。
iSystem可結合本文所述之製程尾氣處理方式，將製程氣體的
即時實際流量導入程式化的人工智慧計算模型，並改善Local
Scrubber運轉操作參數的調變方式，讓Local Scrubber運轉操
作參數可依製程尾氣的變化即時調變，亦即使iSystem不僅成
為Local Scrubber的眼睛，更成為運作思考的大腦，並使Local
Scrubber即時作出最佳反應，讓Local Scrubber同時達到節
能、去除效率提升及減少副產物空汙排放的最佳化表現。

5.3 結論
目前全世界以及台積公司都在積極研擬並加緊腳步執行
節能減碳政策，以減緩地球暖化及伴隨極端氣候對全球的影
響。在2020年，台積公司為首家加入全球再生能源倡議組織
(RE100)的半導體公司，承諾於2030年達成生產廠房25%、
非生產廠房100%用電量為再生能源，並於2050年達成100%
使用再生能源。在2021年，台積公司進一步以「淨零排放」
(Net Zero Emissions)為推動環境永續的標竿，並於2050年前
達成「淨零排放」目標。
現址式製程尾氣處理設備(簡稱Local Scrubber)，除了處
理削減半導體製程排放之有害尾氣，另一重要功能即為處理
削減半導體製程所排放的溫室氣體，而其自身為達成上述功
能亦耗用了大量能源，因此Local Scrubber在節能減碳的執
行面上，同時包含溫室氣體的削減以及自身耗用能源的最佳
化，以減少能源使用所產生的碳排放以及對有限綠色能源的
依賴。依據本文在Local Scrubber導入iSystem的過程，我們
發現對Local Scrubber進行節能減碳措施可以伴隨去除效率及

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