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均勻；潔淨室內氣流不可壓縮，物性參數為常數；室內污染物 F10 CleanRoom目前採用NEBB 2009年第三次修訂的程式
無品質且相對於空氣是被動的，對氣流無作用；因為是強制對 標準去測量無塵室流線平行度。如 圖4，在距離高架地板2.5m
流，忽略能量方程和濕度擴散。 處利用飄帶測試，通過量取距離飄帶頂點固定距離處(2m)偏離
在計算過程中，控制方程的離散採用有限體積法，通過 垂直線長度，利用反三角函數計算出飄帶角度。
求解湍流動能k和湍流耗散率ε方程，得到k和ε的解，然後再用
k和ε的值計算湍流黏度，最終通過Boussinesq假設得到雷諾應
[08]
力的解。流體域的連續和動量方程如下 ：
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式中，u=速度m/s；ρ=密度kg/m ；t=時間s；P=壓力
Pa； eff =有效湍流黏性係數； =黏性係數； t =湍流附加黏性
係數Pa∙s。
1.4.3 評價指標定義
按照垂直單向流潔淨室的設計要求，室內氣流應為均勻
流。不均勻的速度場會增加速度的脈動，促進流線間質點的摻
混，當最大速度與最小速度相差懸殊時，室內將會有明顯的渦
[11]
流。速度場的均勻性可用亂流度β n 來衡量，其定義如下 ：
圖4、飄帶法測量氣流平行度示意圖
式中，n=測點數量；V p =測量平面處的平均風速m/s； 2. 文獻探討
V i =測量平面處第i個樣本點的風速m/s。
2.1 潔淨室寬度對於氣流組織的影響分析
為保證氣流均勻性，在單向流潔淨室的設計上一般β n 取不
在控制單一變數的情況下，利用CFD模擬工具研究了潔淨
[05]
大於0.25~0.30 。
室寬度及高度對氣流組織的影響。如 圖5為不同潔淨室參數下
在全面單向流潔淨室中，實際的流線並不是完全絕對平
亂流度β n 的變化曲線。
行，有一個允許的流線平行度區間。根據ISO14644規範定義
距離高架地板1.5m處氣流速度與垂直軸的夾角來代表氣流平行
度，如 圖3。(ISO 14644-1規定在制程操作區域，流線平行度
的極限為14°) [04]
圖5、不同潔淨室參數下亂流度β n 變化曲線
隨著潔淨室寬度W的增加時, 潔淨室氣流的亂流度β n 也
呈現線性增大趨勢，即潔淨室內速度場均勻性隨著潔淨室
寬度W的不斷增加而逐步變差 [07] 。通過計算可以得出：在
控制單一變數的前提下(FFU送風速度為0.4m/s，潔淨室高
圖3、漸變流流線的傾角
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