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Tech
Notes
技術專文
到的問題以及如何在不影響產線的情況下如期如質的完成歲修 前的前置準備工作。
圖1、三廠VEX/VOC系統擴充時程
2. 系統擴充需求評估-系統問題盤點及改善規劃
三廠依最新空污排放標準經過半年自我盤查後發現， ② 200mm Wet Bench機台槽與槽之間無閘門設計，導致酸/
NMHC佔三廠總排放量No.1, 85%，列為首要改善目標，經源 鹼/有機不同排氣系統，對著同一空間抽氣。
頭盤查後發現Wet Bench機台混排狀況嚴重，如 圖2所示，共
另外，LIT Tracker Hot plate以GEX與SEX以串聯或並聯方
計61台均有以下兩個問題，長期對策評估採用C/S+VOC串聯
式合併排放，造成後段GEX測得NMHC排放濃度大於10ppm，
處理。
如 圖3所示，長期對策將LIT區機台排氣導入VEX/VOC系統。
① Wet Bench為解決IPA異味逸散問題，使用PVC護罩+GEX 上列需求轉至VEX系統處理；評估將增加167,000CMH，
抽氣，導致GEX中含有NMHC成份。(NMHC~250ppm) 大幅超出VOC系統備載處理量。
圖2、Wet Bench機台混排問題
煙囪 類別 污染物 2019 2020 TSMC內 污染來源 改善對策
編號 定檢 定檢 控濃度
(ppm)
P104 SEX+GEX NMHC 6 8 3 C-line光阻塗佈顯影機Hot plate接GEX(42台) ① GEX/SEX分流
P106 SEX+GEX NMHC 4 2 3 ② GEX煙囪導入VEX系統，suffer VEX Capacity不足，待擴充後展開(Plan 9/E)
P206 SEX NMHC 3 4 3 D-line光阻塗佈顯影機Hot plate接GEX(43台) ① GEX/SEX分流
② GEX煙囪導入VEX系統(Plan T2022)
圖3、LIT Tracker Hot plate GEX與SEX以串聯或並聯
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