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Tech
                                                                                                    Notes
                                                                                                    技術專文


           「私人定制」的可行性方案。                                         in unidirectional flow cleanrooms. Building and Environment
                                                                 34(1999):275-284.
                                                             [04]   ISO 14644-1. Cleanrooms and associated controlled environments-
           4.  結論                                                Part 1: Classification of air cleanliness. Geneva: ISO; 1999.
                                                             [05]   中華人民共和國資訊產業部. GB50073-2001 潔淨廠房設計規範[S]. 北京:
              隨著制程技術提升，晶片越來越精密，對現場環境的管控                          中國計劃出版社,2001.
           要求也變得愈加嚴苛，我們的管控測量要從原本的固有防禦姿                       [06]   吳小泉. ISO1級潔淨室微環境氣流組織類比分析[J]. 潔淨與空調技術
                                                                 CC&AC，2020，6(2)
           態轉變成積極進攻姿態。                                       [07]   羅翌，劉光遠. 垂直單向流潔淨室速度場均勻性的影響因素[J]. 揚州大學
              本文首先引入現階段運用成熟的軟體工具—CFD數值類                          學報，2006，(2).
                                                             [08]   吳昌，羅賢才，葛小林，楊誠. 非均勻開孔率高架地板的電子潔淨室廠房
           比，接著通過文獻中數值模擬相關研究說明垂直單向流潔淨室                           氣流組織CFD模擬初探[J]. 潔淨與空調技術CC&AC，2020，(4).
           內氣流組織的影響因素，也間接證明數值類比可為氣流組織優                       [09]   陳浩南，樊洪明，邵伯瑄. 架空地板對潔淨室氣流組織影響的類比研究
                                                                 [J]. 建築熱能通風空調，2020，39(8).
           化提供良好的資料支援與指導方向。最後，本文從「精確狙                        [10]   關子謙，樊洪明. 某潔淨廠高架地板佈置率優化設計[J]. 潔淨與空調技術
           擊」、「精確監控」及「精確圍獵」三個層級去介紹單向流無                           CC&AC，2019，(4).
                                                             [11]   袁旭東，王科. 全面垂直層流潔淨室氣流組織影響因素探討[J]. 製冷與空
           塵室氣流平行度改善及精進管理辦法。
                                                                 調，2005，5(1).
              在「精確狙擊」方面，本文提出了評估改造策略，建
           立EAOC(Environment Assessment Of Change)評估流程，      作者介紹
           旨在讓潔淨室內環境參數變更愈加合理且可控，做到風險
                                                                      葉濤  T Ye
           提前預知並有效管控。                                                 很高興能夠加入臺積電這個大家庭，在與F10運轉團隊並肩作
              在「精確監控」方面，本文提出了精細化線下人工階段                                戰的日子裏，讓我感受到了薹積血液-嚴謹與創新。參與本次
                                                                      的論文撰寫過程中，前輩們的悉心指導，主編的細緻點播，
           性測量機制，建立CR Offline Mapping DataBase System，                都讓我收益頗豐，愈發讓我感受到我是站在巨人的肩膀上眺
                                                                      望遠方，期許自己能在薹積的舞臺上發光發熱。
           旨在通過更加精細化的線下量測來增加現場「眼睛」數量，
                                                                      姜玉龍  YL Jiang
           逐步收取各小區域各指標DataBase，並建立多樣化Baseline                         時光荏苒，歲月如梭。在薹積電的運營團隊中我收益良多，
           機制，提升環境各指標管控力度。通過這種監控模式，確保                                 非常感謝大家的照顧與指導。希望能夠在未來與大家一起走
                                                                      的更快、更穩、更好。
           online眼睛看不到的區域動態變化也能了然於胸，並能及時抓
           住異常並予以擊破，保證環境溫度無波動。
              在「精確圍獵」方面，本文通過三個案例來說明「氣流組
           織優化三板斧」。從流體流動基本原理出發，緊抓流動阻力平
           衡，通過對不同流徑中的阻力作「加法」及「減法」來達到均
           衡各流徑阻力的目的。為此，我們提出精准圍獵之「氣流組織
           優化三板斧」，通過「回風竪井」&「FFU」&「地板風閥」來
           實現阻力「減法」的目標，通過「Partition」來達到阻力「加
           法」的結果。三板斧之回風豎井篇主要介紹了在沿潔淨室寬度
           上回風阻力不均衡時，可以通過新增回風豎井的方式去切分回
           風路徑，從回風特徵上減少潔淨室寬度，達到優化氣流組織的
           目的。三板斧之FFU&高架地板篇主要介紹了通過對高架地板
           的開孔率及FFU的針對性調整，可有效調整局部氣流組織使其
           更加合理，氣流流動更貼近設求。三板斧之Partition篇主要介
           紹了通過新增自動門的方式遏制通風走廊的形成，從而解決橫
           向風導致的AMC擴散的問題。


           參考文獻
           [01]   Suh-Jenq Yang, Wu-Shung Fu. A numerical investigation of effects of
               a moving operator on airflow patterns in a cleanroom. Building and
               Environment 37(2002):705-712.
           [02]   Kwang-Chul Noh, Myung-Do Oh. A numerical study on airflow
               and dynamic cross-contamination in the super cleanroom for
               photolithography process. Building and Environment 40(2005):1431-
               1440.
           [03]   M. Cheng, G. R. Liu. Approaches for improving airflow uniformity

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