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表3、維修區換氣次數及地板開孔率分析表                             如 圖17分別為維修區新增FFU新增FFU及更換格柵地板
                                                                   前後Layout對比圖，通過新增FFU 26台，更換格柵地板48塊
                  Items        Unit    P1 DIF       P2 DIF
                                                As-is    To-be     後，P2 DIF維修區的換氣次數提升至124.9次/h，地板平均開孔
                  Area         m 2      92.9    269.6    269.6
                  FFU          Set       16      54       80       率8.6%。換氣次數的提升極大加速ULPA對於顆粒物的過濾速
                  Flow rate    CMH     53222    106376   154898    度，增大地板平均開孔率降低渦流的生成，營造出「活塞流」
                  Air change rate  1/hr  124.6   85.8    124.9     的氣流流態，使得有可能產生Particle順利地被氣流帶入到高
                  Metal        Pcs      40       80       128
                  Perforated   pcs       11      50       2        架地板以下後經濾網被捕獲消除。
                  Return Air area  m 2  7.87    17.46    23.16
                  Opening rate  %       8.5      6.5      8.6







































































                                                圖17、Maintenance area 新增FFU&更換高架地板


                                                                                             FACILITY JOURNAL        09  2022  37
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