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Tech
Notes
技術專文
如 圖18為P2維修區改造前後現場環境潔淨度及風速風向 從風速風向測量對比圖可以看出橫向風現象下降約30%，且
對比圖，從PD trend chart中可以發現檢測到顆粒物的頻率下 越靠近機台改善越加明顯。由此可見針對DIF維修區的改造對
降約80%，且檢測到的顆粒物平均顆數也有數量級上的降低。 Particle worse的優化提升明顯。
圖18、改造前後環測資料對比
在逐步的實戰經驗中，我們意識到現場高架地板孔隙率 間無級調節。如 圖19為地板風閥現場安裝及調節示意圖，地
的優化調節對於潔淨室的環境管控可以作爲一個重要手段。 板風閥安裝簡易，只需將原高架地板移開後直接放置于原地板
考慮到一般廠區現有的高架地板有三類：格柵板(開孔率： 支撐柱上，隨後復歸原地板即可。在地板風閥的調節上，使用
50%)，蜂板(開孔率：17%)，盲板(開孔率：0)。從現場調節的 工具為一字螺絲刀，在無需移動任何地板的情況下，透過上方
尺度來看，現有的高架地板不能滿足無級調節，因此我們有設 原地板(格柵板或蜂板)空隙即可實現開孔率調節。
計地板風閥，使得地板開孔率在理論上可以實現在50%~0之
圖19、地板風閥現場安裝及調節示意圖
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