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Tech
Notes
技術專文
⑤ 脫附溫度對去除效率之影響： VOCs物種比例。
③ 可調參數：脫附溫度、脫附風量、轉輪轉速。
圖11為不同脫附溫度下，於轉輪吸附區出口側表面各轉
度位置所量測之去除效率。觀察得知脫附溫度增加，可使轉 上述因子對於沸石濃縮轉輪去除效率皆有影響，依據不
輪於脫附區獲得充足熱能，將其區域內吸附之VOCs全數脫附 同特性可分為三大項，固定因子在初始設計時就已訂定，無
完全；但過高的脫附溫度會導致轉輪深層餘熱過高，反而不 法調整；變動因子為製程氣體的物理特性在不同時間會有所
利進行吸附程序。 變化，無法由系統控制；可調參數為沸石濃縮轉輪系統可調
整之操作參數；如 圖13所示，後續研究針對轉輪轉速(調整轉
輪馬達輸出頻率)、脫附前溫度(T3)及脫附風量(脫附風門開度)
進行調整測試，並觀察系統可調參數變動對於脫附後VOCs整
體去除效率之關係。最後再觀察VOC處理設備去除率與潔淨
室B.S./ECP兩區環境IPA及MAU出口IPA的關係。
圖11、不同脫附溫度下，轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率
3. 研究方法
參考文獻 [04] 所提及VOC沸石濃縮轉輪系統改善方法， 圖13、沸石濃縮轉輪系統主要參數及流程示意圖
本文將廠區VOC沸石濃縮轉輪系統進行改善，脫附用載流
氣體從入口VEX製程廢氣(80ppmv)變更為脫附後乾淨空氣 4. 結果分析
(~1ppmv)(如 圖12所示)，用以提升脫附效率進而提升濃縮轉
4.1 VOC潔淨空氣導入脫附用載流氣體
輪去除效率。
本研究於十二廠四五其VOCs沸石濃縮轉輪處理設備進行
改善及調整，首先於2018年進行脫附用載流氣體改善工程，
並於2018年底完成，其改善成效如 圖14及 圖15所示，可觀
察到從VOCs處理設備去除效率從2017年97.82%提升到2019
年第一季的98.75%，上升0.93%，VOCs平均排放濃度從1.45
ppmv降至0.91ppmv ，減少37.2%。
圖12、沸石濃縮轉輪系統脫附用載流氣體改善前後示意圖
參考文獻 [05] 和初始設計規劃可分為三大項沸石濃縮轉輪
去除效率因子：
① 固定因子：轉輪材質、轉輪尺寸、轉輪風面比(吸附/脫
附/冷卻)。
② 變動因子：入口濃度、進氣溫度、進氣濕度、進氣
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