Page 58 - Vol.47

Tech
Notes
技術專文

一季的0.22ppmv，2020年度與2021年度平均排放濃度皆為
0.22ppmv，下降0.69ppmv，減少75%。

圖22、VOCs排放濃度與B.S./ECP IPA濃度逐季比較圖

5. 結論
圖19、年度與去除效率 B.S./ECP兩區潔淨室IPA主要來源70%來自於外氣，透過製

程排氣分流將含有IPA製程排氣由SEX管路轉至VEX管路，再藉
由VOC沸石濃縮處理設備做處理，隨著處理排氣量的增加更
須使VOC沸石濃縮轉輪運轉最佳化以避免有機排放廢氣自排
自吸的現象，進而影響潔淨室的穩定運轉。
未來將針對VOC沸石濃縮轉輪各點操作參數實行自動化
調整，依照製程排氣的溫度、濃度做智能調整，以達到自動
最佳化的目標。藉由IPA煙囪排放之改善能有效降低潔淨室
IPA的外氣來源，隨著外氣IPA的改善能進一步針對潔淨室內
可能汙染源進行管控並改善，達到警報減量以及潔淨室穩定
運轉的目標。
圖20、年度與VOCs排放濃度
參考文獻
最後將VOCs排放濃度與科技部新竹科學工業園區管理 [01] 趙世閔、李懷宇、周家祿，微汙染防治-十二廠六期電化學電鍍製程環境
局空氣品質測站之外氣NMHC濃度測值逐季比較，如 圖21所 異丙醇減量之應用與探討-廠務季刊22期，第78-88頁。
[02] 林瑞昆，防微杜漸-ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制-廠務季刊39
示，至2020年第一季就已達到外氣濃度平均值；將VOCs排放 期，第28-38頁。
濃度與B.S./ECP IPA濃度逐季比較，如 圖22所示，紅色虛線為 [03] 盧銘駿，研發廠空污防制對策Workshop-Bench Tool酸鹼有機之處理
流程。
3
內控標準4 g/m ，一樣至2020年第一季起逐季濃度平均值就
[04] 錢立行、陳庭鈞，排氣革命-揮發性有機物減量新思維-廠務季刊22期，
已低於內控標準，期間IPA OOC/OOS警報次數從9筆/年下修 第6-11頁。
[05] 白曛綾、林育旨、張豐堂、陳建志，沸石濃縮轉輪焚化系統操作績效自
至2筆/年，綜觀以上數據確實能達到潔淨室穩定運轉的目標。
我評估管理制度參考手冊第二版，2003。
作者介紹

陳建豪 Alan
台大土木所結構組畢業，2021年於台積電F12P45就職，負責
AAS系統。

詹資盛 Edward Chan
台大應用力學研究所畢業，2009年進入台積電就職至今，主
要負責機械課AAS/MEP系統。

張貴琳 Bruce Chang
中興大學機械系研究所畢業。
圖21、VOCs排放濃度與OA NMHC濃度逐季比較圖 F12P12 MSS工程師；F12P6/P7/P45 MSS section manager。

56