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[01]
圖1、潔淨室AMC之來源示意圖

次為B.S./ECP相鄰區域機台保養使用之IPA經由潔淨室流場引
入(約占30%)。 [01]
B.S./ECP區域IPA來源約30%來自於潔淨室內部，前人對
環境進行隔間氣密及流場改善、提升高架地板洞洞板覆蓋率
至100%、環境正壓管控及MA風管串聯濾網箱，能有效降低
環境濾網更換頻率。
B.S./ECP區域IPA來源另有約70%外氣MAU引入，當冬
季東北季風時MAU進氣口不受煙囪排放IPA影響；反觀夏季 圖2、季節風向與MAU進氣口IPA濃度關係
[02]
西南風及靜風時煙囪排放IPA會有自排自吸的現象發生而影
響MAU進氣口 [02] (如 圖2所示)，針對此部分就需藉由改善排
2. 文獻探討
放設備(SEX、AEX及VOC)排放去除效率降低對MAU進氣口
沸石濃縮轉輪系統加上直燃式燃燒爐為處理VOCs排氣的
的影響。前人已有對酸性排氣系統(SEX)進行改善-提升換水
主要設備，為提升VOCs排放去除效率，必須探討廠內現行處
量(即降低導電度)和循環水量降低IPA排放濃度、VOC沸石轉
[01]
輪處理設備氣密改善 、Bench製程機台廢氣排放分流並在 理設備原本設計及各項操作參數。
導入VOC沸石轉輪處理設備排放之前加裝前處理設施Local 2.1 VOC潔淨空氣導入脫附用載流氣體
Scrubber [03] ；因Bench製成機台廢氣排放分流接至VOC沸石
[04]
「排氣革命-揮發性有機物減量新思維」 一文提出，將
轉輪處理設備導致VOCs廢氣處理量上升，即需調整VOC沸
脫附用載流氣體從入口高濃度VOCs廢氣變更為脫附後乾淨空
石轉輪處理設備運作參數使其最佳化提升處理效能，進而降
氣(如 圖3、圖4所示)，能有效幫助提升VOCs排放去除效率，
低IPA排放濃度，避免產生自排自吸的現象確保B.S./ECP兩區
降低廠內VOCs排放量。
潔淨室的穩定運轉。

FACILITY JOURNAL 09 2022 51