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擴散物質傳輸之外，也有流體亂流所引起的物質傳輸，要比 初步可知，以水洗方式去除IPA在實用層面上具有可行
單純的分子擴散快很多。因此氣體吸收設備都盡量是在亂流 性，本實驗在F18P4無塵室外氣空調箱MAU入口前新增預水
的情況下操作 [05][06] 。 洗箱(圖5)，使用DI水(去離子水)進行洗滌以去除IPA。先經
由預水洗箱內的兩道DI水先洗滌外氣，預期去除50%污染物
IPA後再送至外氣空調箱控溫控濕，可延長外氣空調箱及無
塵室天花板上的化學濾網更換頻率。規劃挑選AMC高敏感區
(B.S.&ECP)外氣空調箱前裝設預水洗箱。
圖3、MAU air washer架構圖
3. 研究方法
3.1 IPA預水洗去除
IPA可與水混溶之特性從外廠水洗測試IPA去除效率結 圖5、預水洗箱架構圖
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果(圖4)亦可得到驗證，水洗箱入口121ug/m ，出口為14ug/
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m ，處理效率約為90%。 3.2 Pre-washer設計
外氣由LR1進入預水洗箱，預水洗箱先經過35% bag
filter，再經2道washer預洗，除霧層去除過飽和水氣後進入
MAU，最後由MAU調整溫濕度供應進無塵室中(圖6)。
DI water由L40 MAU washer排水藉動力補入LR1預水洗水
箱，預水洗水箱經由溢流(overflow)方式排水(圖7) ，因洗滌水
源為原有外氣空調箱的排水，不須額外增加用水。
考量IPA易溶解易揮發之特性，預水洗箱前後預留盤管空
圖4、IPA水洗效率 間，未來可加裝冰水盤管，第一道盤管進行降溫凝結，以增
加氣體溶解度，提升洗滌效果；第二道盤管再次冷凝，以抑
制氣體揮發，進一步提升預水洗箱功效。
圖6、預水洗流程圖
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