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技術專文
圖5、水洗LSC水槽清潔作業，Powder Outgassing使氫氣洩漏
圖3、DAS Aquabate+Escape入口Bellow腐蝕造成孔蝕(砂孔)導致H 2 洩漏
4. 結果與分析
3.2 案例二＿物料異常 4.1 LSC元件分析及管理
F15A EPI某附屬的DAS Aquabate+Escape機台，經ISEP風 從案例一及案例二，我們可以發現物料異常所導致H 2 洩
管內GMS檢測到約130ppm的H 2 讀值，經確認為水洗入口段連 漏的發生區域主要分布在燃燒部份及前段水洗部份以前，其
接管Clamp Plate裂縫導致氫氣洩漏，由上面接Bellow在管路可 原因為未經處理的腐蝕性氣體使水洗前的元件叫水洗後的元件
能錯位的狀況下應力累積導致連接管破裂，由於無定義連接管 容易損壞，加上氫氣未經燃燒反應下容易逸散的特性，使DAS
Clamp Plate週期，所以重新定義物料週期避免塑料老化。(圖4) Aquabate+Escape H 2 洩漏虛驚發生頻繁，圖6為統計F15A近5年
的H 2 洩漏的虛驚次數，發生的熱點分布於如同前面提到分布於
前段水洗內部的元件。
圖4、入口連接管Clamp Plate破裂導致氫氣洩漏
3.3 案例三_人為因素
F15A EPI某附屬的DAS Aquabate+Escape機台，經ISEP風 圖6、F15A DAS Aquabate+Escape近5年的洩漏元件分布
管內GMS檢測到約190ppm的H 2 讀值，經過確認現場現場由
DAS人員進行保養中，並進行水洗LSC水槽清潔作業，可能殘 從案例分析上，多是單一元件的腐蝕損壞所造成，針對單
存氫氣藏於Powder之中導致逸散於大氣之中，探究原因為CV 一事件單一元件的改善已經不足以應付廠內LSC元件的老化使
凹折使吸力不足所導致及人員對現場氫氣安全意識不足所導 LSC虛驚風險的增加，DAS前段水洗設計屬於多段元件銜接而
致。(圖5) 成，所以元件管理上必須深入剖析，所有元件未來皆有可能成
為破口，以往的保養僅就異常進行更換，缺乏系統性的管理使
元件的生老病死無法掌握，本研究將各個元件分門別類共計16
類，由於元件同屬於分析上高洩漏風險的區域，針對高頻率拆
卸元件(Ex. O-ring、Bellow)定義1年的週期進行，針對水洗段的
素料元件則定義5年週期更換，每段元件接編號、造冊納管，
使LSC可以滴「氫」不漏。(圖7)
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