Page 74 - Vol.47
P. 74
Tech
Notes
技術專文
運轉成本(Utility) : Pump=(37*2+0.5)*24(hr)*365(day)*2.6(電費)
運轉成本(濾網) : 103(FFU)*4(Filter)*2,000(Filter單價)*12(次/年)
圖7、預水洗箱給排水設計
圖9、預水洗MAU出口IPA比較
4. 結果分析
表2、預水洗效果及成本分析
4.1 無塵室AMC品質提升效益
比較F18P3(無外氣預水洗)與F18P4(有外氣預水洗)濾網更
換情形，外氣預水洗導入後，ECP區天花板上方FFU AMC濾
網每年更換頻率12→2次(圖8)。
由實驗結果得知，於AMC VIP製程區(ECP/B.S.)MAU裝設
預水洗，可有效降低MAU出口IPA濃度值，6.4→3.5ppb(圖9)，
達到減少更換濾網次數的效果，大幅降低濾網更換費用，與預
水洗初設及運轉成本加總計算，ROI 約為2.2年(表2)。
圖8、預水洗區域更換濾網次數比較
5. 結論
因應未來半導體製程發展，AMC勢必朝向零汙染的目標 額外獨立裝設，全部MAU都設置頂樓空間並不足夠，因此僅
前進，為維持無塵室所需環境空氣品質，若繼續採現行模式 能挑選AMC VIP區MAU裝設，最終目標期望能與MAU整合，
不斷更換濾網，勢必將花費更龐大費用、人力及產生更多廢 解決空間亦可降低初設成本達到更好的ROI，並可推廣應用至
棄物。以水洗方式處理IPA，在本實驗中已得到相當成效，可 全Fab MAU使用，提供無塵室更良好的潔淨空氣並節省更多
有效降低更換濾網頻率及人力，一年僅ECP/B.S.區即可節省更 更換濾網費用與降低運轉成本。
換濾網費用NT$8.3M，未來方向將持續測試預水洗增加冰水
盤管後成效，提升MAU系統外氣處理能力。本次預水洗箱為
72
