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Bypass)
③ 執行前端水洗scrubber(AQUABATE) N 2 purge程序 : 10
分鐘。
④ 連接O 2 Sensor於後端燃燒水洗scrubber(ESCAPE)入口
端的偵測點2。
⑤ 開始執行偵測1分鐘內降至0.0%。
⑥ 確認偵測讀值0.0%維持4分鐘代表無洩漏。
⑦ 手動切換三向閥至燃燒腔體。
⑧ 連接O 2 Sensor於後端燃燒水洗scrubber(ESCAPE)入口
端的偵測點1。
⑨ 開始執行偵測1分鐘內降至0.0%。
⑩ 確認偵測讀值0.0%維持4分鐘代表無洩漏。
⑪ 機台復歸。
透過 圖8，本研究透過拆除N 2 管路模擬管路洩漏，約90s
就可以測量到管路洩漏狀況，證明氧氣測漏法的可靠性。
圖7、DAS Aquabate前段水洗段定義元件及更換週期
4.2 LSC保養流程改善_氧氣測漏法導入
過去DAS Aquabate+Escape的測漏手法，使用氫氣偵測儀
(NC-1000)於管路組裝完成後，僅由氫氣偵測儀沿著管路銜處接
量測，可能因為洩漏濃度不高及PM測漏手法偵測極限使微小
洩漏點無法及時發現，透過氧氣偵測儀(理研GX-2012)的導入，
PM完成後利用N 2 進行Purge使管路成為無氧狀態，如有洩漏點
氧氣會由於管路負壓吸入管路內，氧氣偵測儀可以偵測到最低
0.1%的氧氣，比起NC-1000僅於外部管路量測，將使量測更加
的標準化、準確及安全，其操作方法如下：
Specification : O 2 濃度0.0%→代表無洩漏(監測5min/
次)共2次。
圖8、拆除N2管路模擬管路洩漏，以氧氣測漏進行偵測
① 按下POWER/ENTER開機，O 2 濃度偵測器開始自我校正
(確認O 2 環境讀值 : 20~21%→代表校正完畢)
4.3 現場保養、操作人員管理精進
② 測試前再次確認O 2 Sensor偵測點是否有正確安裝。
• O 2 Sensor偵測點1量測(AQUABATE到ESCAPE PLUS 現場人員拆管及元件解離，使腔體暴露於大氣之中，一般
腔體) 上PM使用CV進行跟抽作業，但依據案例3由於CV管路凹陷造
• O 2 Sensor偵測點2量測(AQUABATE到ESCAPE PLUS 成Powder Outgassing使氫氣洩漏，針對現場人員PM手法以好
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