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VOL.49 廠務季刊 裝機超長米數改善對策 -SP1 系統化排點
圖 1：Hookup 發包流程
2.3 SP1 配置點不當導致 Hookup 超長米數 2.4 案例 - 裝機請款發現超長米數
台灣半導體廠建設多採取快捷施工的方式，設計與施工 由 HHS 請 款 點 數 與 BOM 的 發 包 點 數 比 對 發 現，
同時進行，主建築施工到一半，廠務系統就進場施工， Hookup Power 與 Gas 常有 PO 不足的情形發生，需
容易導致空間尺度的不足或配置不當，後續也容易需要 進行 PO 補開作業。
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辦理變更設計，增加修正成本。吳心玫 以機台對於
廠務系統的需求為出發點，進行灰關聯分析，探討影響 以 Power 為例，統計 Y2019~2021 年 F18/F15/F12 裝
不同製程空間尺度的因子，使空間更有效利用，並降低 機，總共 7,395 台，其中 2,336 台有超長問題，占總機
建廠成本。 台數約 31.6%，總超長米數費用 NT$336M，代表需多
花 21.5% Power 人力才能完成裝機，可見超長米數對
供應 Utility 的主系統一次配 (SP1) 與二次配管工程 成本及人力的影響非常巨大。
(Hookup) 常由不同承商施作，考量預算與需求不確定
性，SP1 的規劃大多隨著產能規劃，進行漸進式的擴 經分析比對後，發現 FAB 內最常發生超長米數機台區域為
充。若 SP1 預留點恰當，Hookup 工程則容易進行， ETCH / LIT (with EUV) / DIF / TF / BS，平均每台 Power 配
反之， SP1 排點不當，Hookup 常面臨空間上配管的 線超長 228M( 表1)，需指派更多人力來進行超長米數安
衝突，配管需拉很長去銜接 SP1 端點，導致超長米數 裝，在大量裝機時期，可能會造成機台延誤交機。且請款
情形產生。 PO 不足，需花費更多人力與工時，進行 PO 調帳或是補
開 PR/PO，不只拉高裝機成本，還會延長請款作業時間。
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