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TSMC/ Facility Published
表 1：2019-2021 Hookup Power 超長米數統計 主編的話
2019-2021 Hookup Power 超長統計 (Top 5 Area)
Area 裝機數 超長機台數 裝機超長比例 超長米數 平均米數 總超長費用 平均超長費用 費用增加
Etching 1,298 455 35.1% 104,515 229.7 73,546,805 161,641 18.0% 大
LIT (with EUV) 1,038 412 39.7% 109,232 265.1 79,864,241 193,845 31.2% APM
DIF 1,051 330 31.4% 99,199 300.6 57,183,349 173,283 26.6% 篇
TF 1,121 341 30.4% 59,626 174.9 38,277,828 112,252 16.7%
BS 623 233 37.4% 57,000 244.6 37,327,324 160,203 17.6% 中
Total 7,395 2,336 31.6% 532,641 228.0 336,094,689 143,876 21.5% APM
篇
以 F15 的 3 台 EUV Hookup Power 工 種 為 例， 超 長 柱位間距、SWB 直立 tray 與考量凹折轉彎處，進行實
所造成的費用為 NT$2.2M。會發生超長米數的主因為 際距離量測，量測出來的長度與廠商提送的超長米數 小
EUV 機台附近配電盤已被其他機台使用，因此 EUV 裝 相符。其中拉線距離最長的一台，SWB 至 AC Box 經 APM
機要拉線到距離機台更遠的電盤，造成實際施工米數 過 16 根柱位 ( 約 80M)，總計 14 個迴路、55 條線，平 篇
跟 BOM 有顯著的差異，導致 PO 金額不足。在現場以 均每條線超長 83.3M，超長長度總計 4,579M( 圖2)。 2022
台積公司年度維修成果觀察與建議
圖2：F15 EUV 電盤路徑圖
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