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VOL.49 廠務季刊       裝機超長米數改善對策 -SP1 系統化排點







              研究方法 ( 改善構想 )




              3.1  SP1 擴充流程

              當有新裝機時,考慮各種機台有不同的 Utility 需求,                   Request) 啟動報價流程,將 ORP 與 CST 提供的資料
              廠務系統人員需依照裝機的機型與位置,確認該區域                         彙整,廠務系統人員依照各機台 Utility 需求與位置進
              的 SP1 供應量是否足夠,若供應不足則需進行 SP1                     行 SP1 評估。經現場會勘 & 確認後,若 SP1 需要擴充,
              擴充。                                             廠務需提供 PR Material 說明計算結果 & 需擴充的範
                                                              圍,NFP 進行報價內容澄清確認與比價、開立 PR 後,
              成廠 區 SP1 擴充流 程如 圖3:Capital Committee
                                                              此 FR 報價案即結案。採購與廠商議價下訂單後,廠
              過後 ORP & IE 提供機台清單及 Bay ID,裝機廠區
                                                              務系統負責人員即可與得標廠商安排擴充工程,並於
              CST( 或 USER) 提供對應 Tool Utility Request( 裝機
                                                              機台裝機前完成施工,避免影響裝機時程。
              傳 簽 單 ) 或 Golden tool。NFP 於 FR 系 統 (Facility


























              圖 3:SP1 報價與擴充流程



              3.2  SP1 系統化排點介紹                                ➂ 正在進行擴充中的 SP1 盤面數量及預計完工日期、
                                                                位置 ( 柱位編號 )。
              為了降低裝機成本與人力,希望發展 SP1 系統化排
                                                              系統化排點流程 ( 圖4):機台準備裝機前,EE 會先進
              點,藉由此系統提前預警超長米數即將發生,讓廠務
                                                              行裝機前傳簽,傳簽完畢後交由 CAD 開始繪製施工
              系統人員可以透過 SP1 擴充或其它應變措施來降低超
                                                              草圖,並提供給 EE 進行需求確認,確認無誤後即回
              長米數的情形發生。
                                                              圖給 CAD Team,此時由「系統化排點系統」確認資
              首先要建立系統化排點的資料庫,此資料庫包含:                          料庫內是否有同型機,如有同型機則開始以最短距離
                                                              進行排點。將此初版排點資訊,提供給廠務系統工程
              ➀ Golden tool POU 數量及 SP1 使用需求。                 師進行確認,確認無誤後,CAD Team 進行施工圖出
                                                              圖,EE 開始進行現場會勘施工,排點系統同步回饋
              ➁ 現場 SP1  可用點位數量、種類及所處位置 ( 柱位
                                                              此次最終排點結果至資料庫,等待下一台施工需求。
                編號 )。




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