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VOL.51 廠務季刊 南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

研究方法

3.1 分析儀器及采樣設備 3.2 采樣模型設計

本文主要使用碩傑 FTIR EB3000 進行量測實驗，儀 采樣過程比照 Level-1 操作模式，需向 ISEP 報備，
器主題包含抽氣 pump 組和分析平臺兩大部分。抽氣 進現場監督采樣過程。作業人員佩戴半面式有機防毒
pump 組包含抽氣泵、濾過系統、冷凝器、流量調節 面具，現場放置 SPM 檢測，作業過程中 CV 跟抽。採
裝置等，能有效控制樣品品質，保障量測水準；分析 樣前溝通設備瞭解 Tool 運行工況，以便選取合適的
平臺由操作平臺、數據處理系統及分析系統組成，兩 量測時機，取得更真實有效的數據。
者組成完整的 FTIR 移動作業平臺，2~3 人力便基本
可保證實際量測分析的正常展開。( 圖3) 采樣連接示意如圖4，包含水準管采樣口的量測，
以 及 Local Scrubber 進 出 口 濃 度 量 測。Local
scrubber 機臺吸附桶進氣壓力 sensor 位置會預留
port 點，使用 1/4 寸 PFA 采樣管配合快接接頭連接
此 port 點即可採集來源廢氣，另一端連接 FTIR 儀器
即可將廢氣導入分析儀器，儀器分析後的廢氣需接入
CV，避免影響無塵室環境。同樣，如需採集出口端
廢氣，可使用出口風管機械表頭壓力偵測孔作為采樣
點，進行出口量測。( 圖5)

圖 3：儀器架構圖

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