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TSMC/ Facility Published














                    表 3:F3年度空污改善成效































                    參考文獻                                           作者介紹




                    01. 許芳銘,半導體業污染防治與管理─台積公司為例。                               曾柏凱  Po Kai Tseng
                    02. 張書豪,科學園區空氣污染物排放特性之探討,                                 交通大學應用科技所畢業。2019 加入
                                                                              竹科廠務,很高興有機會可以分享 F3
                       1999。
                                                                              空污改善成效給各位,並期許未來有更
                    03. 白曛綾,沸石濃縮轉輪焚化系統操作績效自我評估                                多的空污改善技術可以與大家交流,為
                       管理制度,2003。                                             ESG 近零排放做出貢獻。

                    04. 許菁珊,沸石對於光電產業揮發性有機化合物之吸
                       脫附研究,2006。

                    05. Mitsuma, Y., Ota, Y., Kuma, T., Hirose, T.,
                       �Practice of The VOC Abatement by Thermal
                       Swing Ceramic Monolith Adsorbers,� Proc.
                       4th Japan-Korea Syposium on Seperation
                       Technology, p479-482, Tokyo. Japan, 1996.













                                                                                                            ��
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