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TSMC/ Facility Published

圖 7：F3 VOC 系統整併與汰換計畫示意圖

3.3.2 處理設備效能提升 -Central Scrubber By Pass 改善

除了源頭改善以及處理設備擴充之外，同步檢視既 的狀況。此現象為填充層底板為格柵孔型式，如圖8
有空污防制設備效率，並進行問題改善，這邊舉例 所示。因液位低將造成製成廢氣由底板格柵孔短流至
Central Scrubber by pass 短流改善進行說明，針對 Central Scrubber 出口端排出，此現象將造成製程廢
排放管道濃度超標之煙道，下游 Central Scrubber 進 氣未經過填充處理直接排出，導致煙道排放濃度上升
行週期性排放濃度量測，發現有時好時壞的狀況，停 之主因。在本文提出將填充層前後格柵底板進行盲封
機 PM 與運轉觀察後發現，Sump 液位高低時，塔體 達解決 by pass 短流的現象根解。
壓差會有相應的變化，液位高壓差高，液位低壓差低

圖 8：F3 Central Scrubber By Pass 示意圖

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