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VOL.51 廠務季刊 成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

結果與分析 結論

承 3.3 章節，進行 LWS 填充材 Honycombs 液氣比參數 老舊成廠區雖然在系統設計上缺陷、空污防制設備老
實驗，本實驗以處理風量、pH、導電度為固定因數，分 舊、源頭混排錯排等等諸多問題，但仍然可以參考本
別為風量 7300CMH、pH9.5~10、導電度為 5ms/cm， 文建立質量平衡圖來了解廠區污染來源分布，在進行
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調整循環水參數為變數，分三組流量 24、30、40m /hr 改善藍圖的擬定，逐步抽絲剝繭，追根朔源找出解決
進行液氣比對於HF、HNO 3 去除效率對照，結果如表1。 之道。
可以得證液氣比與去除效率關係，液氣比越大去除效
3 依本文所註寫，主要探討對象台積三廠依上述步驟進
率越好。在循環水流量 40m /hr 的狀況下，HF 去除
率可達 99%。 行空污排放改善，自 2019 至今，年排放噸數從每年
30 噸減量至 16 噸，如表3 所示，達 46% 的削減量。
承 3.3.2 章 節，Central Scrubber 短 流 改 善， 共 分 亦期許台積電在 ESG 理念的道路上持續努力，為社會
Sump 液位 Hi 及 Lo 為兩對照組，來進行 Scrubber 責任做業界的楷模。
HF 去除效率驗證。在 Hi 液位無短流的情況下，HF
去除效率可達 91.63%，Lo 液位的情況下去除效率則
只有 46.64%。以上述實驗可證明，格柵底板安裝防
止短流是有實質性效益的。( 表2)

表 1：現址式洗滌塔 ( 蜂巢式填充層 ) 液氣比多寡，對 HF/HNO 3 去除效率關係表

表 2：中央式洗滌塔明短流改善成效

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